フルオート・プローブシステム

MPI様々なフルオート・ソリューションを提供します。

RFデバイス、ハイパワーデバイスおよびデスクリート型受動素子の製造における試験要求の増加に応えて、MPIはTS2500、200mmフルオート型プローブシステムを開発いたしました。このシステムはMPIのPA(Photonics Automation)事業部で培ってきた、製造向け製品の品質、信頼性の踏襲と、AST(Advanced Semiconductor Test)事業部が持つ、RF、ハイパワー測定技術の経験を有機的に結合して生まれたプローブシステムです。システムにはRFプローブ、RF校正技術やハイパワー測定用アクセサリーが用意されています。

半導体業界においては、デバイスモデリングや最新テクノロジ開発プロセスの際に必要となるデバイス評価におけるオンウエハでの高確度、高安定測定は長い間の課題でした。現在の300mmソリューションでは、測定確度をとるか自動化を取るかの選択になり、両方同時の選択は困難でした。MPIではTS3500プローブシステムとWaferWallet®を組み合わせることにより、この課題を解決しました。このシステムにより、測定の確度を確保しながら自動化を可能にして、測定の迅速化をはかり、測定のコストの削減にも貢献いたします。WaferWallet®を用いることにより、簡単な操作でいろいろなウエハあるいは大きさの異なるウエハを扱うことができます。

MPIの持つユニークなWaferWallet®にWaferWallet®MAXを追加しました。このことにより、TS2000-IFEまたはTS3500シリーズをフルオートプローバに変更することが可能です。マテリアル・ハンドラ、カセットスキャナおよびプレアライナ使用するこにより、 WaferWallet®MAX 200MMは100、150または200 mmカセット、300MMバージョンは150 、200または300 mm FOSB/FOUPカセットに対応します。