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RF およびミリ波特性評価

MPIの定義

ウエハレベルでのRF、ミリ波特性評価には、RF/マイクロ波ICの開発、設計デバッグ、半導体デバイスのモデリングが含まれます。

 

ウエハレベルでのRF測定では、VNA、周波数エクステンダ、インピーダンス・チューナ、Bias-T、その他の部品などを組み合わせた測定が必要になります。MPIでは優れた測定精度が保証できるようにこれらの組み合わせにも特別な注意を払っています。

主な必要性能

測定には小信号、大信号測定、Sパラメータ測定、RFパワーおよびRFノイズ特性評価のためのソースプル/ロードプル測定などが含まれます。これらの測定では、機械的な安定性、短い測定信号経路、高い測定方向性、様々なDUTパッド・メタライゼーションでも長時間安定コンタクトが可能、DUT端子までの測定系のRF校正 ができることが必要になります。

MPIのソリューション

剛性の取れたMPIの研究開発用プローブ・システムはRF/ミリ波測定に最適なプローブ・システムとなっております。設置面積が小さく、RFパワー、RFノイズなどの測定器との組み合わせに最適です。また高精度でバックラッシュが少ないRFポジショナにより、正確なプロービングを可能にします。

MPI はミリ波帯で安定に測定できるマニュアル型プローブ・システムを開発しました。TS150-THZ, TS150-AIT & TS200-THZ がそれらのプローブ・システムです。ミリ波測定用高性能ポジショナ、MP80MPI独自のシングル・チューブ型顕微鏡、MPISZ10MZ12 は高い拡大率でかつ広い作動距離を持っていますので、ミリ波帯、サブミリ波帯用周波数エクステンダやインピーダンス・チューナをDUTに近いところに設置でき、測定系の信号経路を短くできます。このことにより、測定の方向性を高くし、正確な測定を実現します。

MPITITAN™RFプローブ・シリーズは独自の設計とMEMS技術で開発したプローブチップは視認性が優れており、かつ低い接触抵抗でコンタクトが難しいとされるアルミパッドにおいても安定なプロービングが可能です。

MPIQAlibria®RF校正ソフトウエア および RF校正基板 を使用することにより、業界標準の校正手法、先端校正手法そして計量学レベルのRF校正ソリューションを提供します。

THZ選択 オプションにより、TS2000-SE プローブ・システムをミリ波およびTHz測定用プローブ・システムに構成できます。これにより、200mmウエハのミリ波/THz帯で、優れた測定精度で 自動測定が可能になります。電動マイクロ・ポジショナを用いれば、より完全な測定、校正が可能になります。

MPI TS2000, TS3000 およびTS3500 オートプローブ・システムはプラテンとチャック間の距離が短いので、自動インピーダンス・チューナ用拡張プラテンを使用することにより、ロードプル測定に理想的なプローブ・システムになります。

MPITS2500、200mmフルオート・プローブ・システムのRF測定用タイプは製造ラインで使用いただける設計になっております。24/7体制でも使用いただける信頼性を持っています。RF測定用のアクセサリはすべて使用可能です。

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