Silicon Photonics Test Systems

Silicon Photonics

Silicon Photonics on-wafer tests

Silicon Photonics Test

Silicon Photonics Test Systems

SiPH On-Wafer Tests

Silicon Photonics Wafer Probing

SiPH Wafer Probing

Silicon Photonics Wafer-Level Probing

Silicon Photonics Wafer-Level Testing

Silicon Photonics Wafer Probe Station

Silicon Photonics Wafer Probing

ウエハーレベル信頼性テスト(WLR)

Wafer Level Reliability | WLR probing

MPIの定義

デバイスの信頼性は、そのデバイスの持つ電気的仕様を、規定された期間、規定された条件、規定された信頼性レベルの下で満足することを意味します。ICが設計され、最初のウエハが出来上がると、WLRテストが行われ、性能の検証が行われます。その結果を新しいIC設計に反映し、設計を加速できます。また信頼性の特性を評価することにより、プロセスの検証 も可能になります。

 

  • デバイスの信頼性: HCI、NBTIPBTIなど
  • ゲート酸化膜の耐性:TDDB,、V-Ramp、HV-GOIなど
  • メタル配線:EM、 ILD 、TDDBなど

主な必要性能

WRLのプロービングの課題は、通常の、測定-ストレス測定に加えて、高いスループット、高い柔軟性、長時間測定、時には非常に高温での測定が要求されます。

MPIのソリューション

MPI 300 °C Air Cool®PRIME 温度チャックは、すべての温度範囲において優れた平坦性を持っており、マルチサイト試験の際に比類のない性能を提供します。温度チャックの高速な 遷移時間は、短期間信頼性テストを多数の温度ポイントで実行でき、測定の効率化に貢献します。

温度システムの信頼性、すなわちチャック、コントローラ、チラー、プラテン冷却機能、そして長時間の安定プロービングが可能な機会構造等は、長時間のWLRテストには必須であり、これにより評価にかかるコストの削減もはかれます。

Celadon Systemsの高精度プローブカードをMPITS2000-SETS3000-SE、オートプローブ・システムに組み込むことにより、高密度、マルチサイト、高温におけるWLR測定システムを簡単かつ汎用性に富む形で構成できます。

MPIのWaferWallet™を搭載することにより測定性能を損なうことなくTS3500-SEプローブ・システムを自動化できます。操作しやすい高さに設計されている、5つの個別ウエハ・トレイは

150200または300mmウエハのハンドリングが可能で、WLR評価でのフルオート測定を可能にします。

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