ウエハーレベル信頼性テスト(WLR)
主な必要性能
WRLのプロービングの課題は、通常の、測定-ストレス–測定に加えて、高いスループット、高い柔軟性、長時間測定、時には非常に高温での測定が要求されます。
MPIのソリューション
MPI 300 °C Air Cool®PRIME 温度チャックは、すべての温度範囲において優れた平坦性を持っており、マルチサイト試験の際に比類のない性能を提供します。温度チャックの高速な 遷移時間は、短期間信頼性テストを多数の温度ポイントで実行でき、測定の効率化に貢献します。
温度システムの信頼性、すなわちチャック、コントローラ、チラー、プラテン冷却機能、そして長時間の安定プロービングが可能な機会構造等は、長時間のWLRテストには必須であり、これにより評価にかかるコストの削減もはかれます。
Celadon Systemsの高精度プローブカードをMPIのTS2000-SE 、TS3000-SE、オートプローブ・システムに組み込むことにより、高密度、マルチサイト、高温におけるWLR測定システムを簡単かつ汎用性に富む形で構成できます。
MPIのWaferWallet®を搭載することにより測定性能を損なうことなくTS3500-SEプローブ・システムを自動化できます。操作しやすい高さに設計されている、5つの個別ウエハ・トレイは
150、200または300mmウエハのハンドリングが可能で、WLR評価でのフルオート測定を可能にします。