ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF４ポートまたはDC/ケルビンポートを８ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

Probe Hover Control™

MPI のPHC™は手動でプローブのウェハーへのコンタクトとセパレーションを容易にします。マイクロメータにより高精度にプローブからウェハー/パッドへのコンタクトを微調整することができます。操作が簡単なため、オペレータによる操作ミスを最小限にして、測定系の変更およびプローブの変更を安全に行えます。

簡単なウェハーローディング

広い前面ドアと独自のチャック設計によりウェハーのロード・アンロード機能は非常に使いやすく、150/200/300mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや4mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック２台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルはMPI社の何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全にかつ簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。 キーボードとマウスはソフトウェアを必要な時に操作するためとWindows^® ベースの測定器の操作に使用します。

温度チャック

チラーのプローバーとの統合によりTS3000シリーズは省スペースな設計となっており、狭い実験室などでも使用できます。

MPIとERS社が共同設計した 新しい300 mmサーマルチャックAirCool®PRIME T技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

移行時間の短縮、電気的性能の向上、不活性ガス雰囲気下でのテストの容易さ、および現場でのアップグレード性は、AirCool®PRIMEサーマルチャック・システムの付加価値です。

温度制御はプローバー前面に統合されているタッチスクリーンにて行い、オペレーターがすぐに測定に反映させることが可能です。

ERS社AC３冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。

STM™(Safety Test Management)システム

独自のSTMシステムにより測定中はすべてのドアーが開かないようになっていますので測定したデータは安全です。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が安定に実施できます。STM™により自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、自動的にチャックをセーフモードに切り替え、チャック温度をなるべく早く露点温度より高く設定します。STM™システムにより測定環境が守られ、安全で、より信頼性の高い測定が可能になります。

計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することにより、ケーブル長を短くし、RF/ミリ波測定をより確実なものにします。

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用自動プローバーはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO^® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria^® と完全に統合されており、操作性もSENTIO^® と同じコンセプトを採用しております。