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TS3000-SEオート・プローブシステム-ShielDEnvironment™付き
特長と利点
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™ は、プローブシステム自身に設置された高性能な環境チャンバで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド,遮光環境を実現します。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™ はRFを4ポートまたはDC/ケルビンポートを8 ポートまでプラテンに搭載可能です。
MPI ShielDCap™ は必要な構成に簡単に変更可能です。小さなものの積み重ねが日々の作業効率向上に貢献します。
Probe Hover Control™
MPIのPHC™ は手動でのプローブとウエハのコンタクトとセパレーションを容易にします。マイクロメータ機能によりプローブからウエハ/パッドヘのコンタクトを高確度で微調整することができます。操作が簡単なため、オペレータによる操作ミスを最小限にして、測定系の変更やプローブの変更が安全に行えます。
簡単なウエハ・ローディング
広い前面ドアからのウエハのロード、アンロードは非常に使いやすく、100、150 、200 mmウエハはもちろんのこと、割れウエハ、4 mm角のICチップなども搭載可能です。補助チャック2 台は手前に位置しており、ロード、アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウト構造のものと違い、RF測定の際の校正基板の設定や、プローブカードのクリーニングなどの自動化を簡単にします。
ハードウェア・コントロールバネル
ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows
温度チャック
温度制御はプローバー前面に統合されているタッチスクリーンにて行え、オペレータが簡単に操作でき、かつ測定にすぐ反映させることも可能です。
ERS社AC3 冷却技術を採用
温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™ の空気をパージする際、使用済みドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライエアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。
STM™(Safety Test Management)システム
独自のSTMシステムにより測定中は全てのドアが開かないようになっていますので、安全に測定できます。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が定安に実施できます。STMにより自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、STMは自動的にチャックをセーフモードに切替え、なるべく早くチャック温度を露点温度より高く設定します。TS3000-SEオート・プローブシステムではSTMにより測定環境が守られ、安全でより信頼性の高い測定が可能になります。
計測器とのインテグレーション
測定器用トレー(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能です。