TS150-AIT and TS200-THZ Probe Systems | THZ Wafer Prober | THZ Wafer Probing | Semiconductor Wafer Prober | Wafer Probe Process

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4 Point Probe Station | vacuum probe station

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vacuum probe station | 150mm Probe Station

vacuum probe station | Prober Chuck

TS150AIT、TS200THZプローブシステム

MPI TS200-THZ - 200 mm Manual Probe System for mmW & THz Measurements

5 G次世代移動通信システム、人工衛星、非侵襲性分光分析法`セキュリティー・監視システム、医療機器、車載用近距離レーダーなど、プローバーにアクティブ・インピーダンス・チューナーを搭載するTHzアプリケーションの需要は大きく拡大しておりよす。それにより信頼性と再現性の高い測定デ ータがこれまで以上に垂要となってきております。TS150-AITおよびTS200-THZマニュアル型プローブシステムはチユーナを使ったミリ波帯、サブテラヘルツ帯の測定に特化して設計されたシステムになります。

  • 1.5 THz帯まで幅広い周波数帯の計測器の周波数エクステンダ、インピーダンス・チューナとプローブシステムのシー ムレスな統合を実現
  • 周波数エクステンダ、チューナーを使った測定を最大限引き出す設計
  • 械的剛性、安定性を持ち合わせ、安全で簡単な操作性

特長と利点

エアベアリング・ステージ

MPI独自のエアベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショ ニングおよびロ ーディングを可能にしました。また XY/θ マイクロメー タを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm)が可能です。

MPI TS200-THZ - Air Bearing Stage with Optional Fine-Adjustment Micrometers

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独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1µm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300 µm)、ロード(3 mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定の破損を防ぐセーフティ・ロック機能を持っています。さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ機能( 50100150 µm )がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

チャックZ軸調整機構

TS200-THz10 mm高精細Z軸調整機構をもつことにより、異なる周波数帯のR&D社、VDI社、OML社の各種周波数エクステンダを搭載することが可能です。一台のプローブシステムでさまざまな周波数帯での測定をする際、セットァップを容易に素早く実行できます。

MPI TS200-THZ - Standard 10 mm Fine Z Adjustment and Optional XY-Theta Micrometer Movements

ポジショナ構成

剛性のある専用プローブ・プラテンには、東西にMP80ボルト式ラージ・エリア・ポジショナを配置することができます。また南北のブリッジをつけることにより、4 ポート測定やバイアス信号を印加するためのDCポジショナを設置することも可能です。

MPI TS200-THZ - North and South Platen Bridges

MP80-DX

MP80-DXポジショナは1 um の高分解を持ち、ミリ波 、THz帯の校正手法であるマルチ・ラインTRL測定でのΔl 設定をより確実なものとします。校正についはMPI QAlibria®校正用ソフトウェアのページをご参照ください。

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チャック・オプション

お客様の要求およびご予算を満足するチャック・オプションを用意しております。

  • BNCコネクタ付標準RFチャック
  • ミリ波専用チャックはセラミックチャックを採用
  • ERSRF温度チャック(空冷 20~ 200 ℃、小径吸引口付き金メッキトップ・プレート)

すべてのチャックにはオプションで校正基板およびクリーニング基板用の補助チャック2 台が搭載されます。

Courtesy of FBH

Courtesy of FBH

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顕微鏡オプション

顕微鏡のラインアップとして、MPI 顕微鏡、SuperZoom SZ10 シングル・チューブ型顕微鏡または12倍、45 mmの作動範囲を持つMegaZoom EZ12顕微鏡が最適です。これらの顕微鏡は小型なので、ミリ波帯、サブテラヘルツ帯域で周波数エクステンダを実装して測定するときに物理的制限を回避してプローブと被測定物の距離をできるだけ接近させるセットアップが実現できます。

MPI MZ12 Single Tube Microscope with 5MP Camera

周波数エクステンダの搭載

TS200-THZでは周波数エクステンダ搭載を考えて、まったく新しいデザインを採用しました。 DUTまでの距離を悪小限に、測定指向性を展大限に実現するために200 mmウェハーの上を覆ってしまう斬新なコンセプトを取り入れました。また簡単に素早くセットアップ環境を変えることも可能にしました。

周波数帯の異なる測定系に変更する際のプローブや測定物の破損防止機構を取り入れました。 

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