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TS2000-HPハイパワー・ソリューション

TS2000-HPハイパワー・オート・プローブシステムはShielDEnvironment™チャンバを搭載することにより、低ノイズ、シールド環境下での測定を可能にし、ハイパワー・デバイスをオンウエハで、かつ広い温度範囲で、3kV (トライアキシャル）、10kV (同軸）、600A（パルス）までの幅広い測定を可能にします。

MPI先端テクノロジー、VCE™、mDrive™およびPHC™機能をオプション(または後付け)で追加可能です。

PDFTS2000-HP製品概要

PDFTS2000-HPデータシート

youtube logoウエハ状態で半導体デバイスの特性評価
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特長と利点

安全対策

 

高電圧測定中の安全対策としてインターロック付きライト・カーテンを用い、オペレータが誤ってプローブシステムに侵入した場合に測定器を安全に停止させることができます。プローブシステムの背面ドアにもインターロック機構が搭載されており，測定のセットアップや変更を簡単に行うことができます。

ShielDEnvironment™

 

MPI ShielD Environment™はプローブシステム自身に設置された高性能チャンバで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMI シールド、遮光環境を提供します。TS2000-HPプラテンは、チャックとプラテン間の放電を防止するため、ArcShield™技術を採用しております。

高電圧、高電流および超高電力プローブ

 

MPIのハイパワープロービング・ソリューションは、接触抵抗を減らすためにMPIが独自に開発したマルチコンタクトチップを使用した専用の高電流プローブ、3 kVのトライアキシャルまたは5 kVおよび10 kVの同軸セットアップでの高電圧試験時に低洩れ電流の測定が可能な高電圧プローブ、最大600 Aの電流測定にも対応しています。

さらに、MPIの高電力プローブカードは、10 kVまでのアーク放電を抑制し、最高150℃の温度での測定を可能にします。

放電防止対策LiquidTray™（オプション）

 

放電対策として設計されたフロリーナトトレイ、LiquidTray™ はチャックに載せることにより放電を抑えることができます。ウエハはフロリナートが充填されたトレイ内に保持され放電を防止して高電圧測定を可能にします。

高／低温時のウエハ交換が可能に

 

安全設計されたシングルウエハ・ローダによりどの温度でもウエハをロード、アンロードすることが可能になりました。常温までいちいち温度を上げ、下げする必要がありません。これにより測定ダウンタイムを大幅に削減できます。必要な設定は管理者権限のログインにより保護されます。

MPI TS2000-HPは、温度チャック、STM(Safety Test Management'”) 機能、シングルウエハ・ローダ、防振機構、制御系統の集約など TS2000-SEの持つ優れた特徴を兼ね備えております

 

違いはソフトウェアから

制御用ソフトウェアSENTIO®

 

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria®と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。