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300 mm Wafer Probing | MPI Probe Station

TS2000-HPオート・ハイパワー・プローブステーション

MPI TS2000-HP - 200 mm High Power Automated Probe System

TS2000-HPオート・ハイパワー・プローブステーションはShielDEnvironment™チャンバを搭載することにより、低ノイズ、シールド環境下での測定を可能にし、ハイパワー・デバイスをオンウエハで、かつ広い温度範囲で、3kV (トライアキシャル)、10kV (同軸)、600A(パルス)までの幅広い測定を可能にします

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特長と利点

安全対策

高電圧測定中の安全対策としてインターロック付きライト・カーテンを用い、オペレータが誤ってプローブシステムに侵入した場合に測定器を安全に停止させることができます。プローブシステムの背面ドアにもインターロック機構が搭載されており,測定のセットアップや変更を簡単に行うことができます。

MPI TS2000-HP - Safety Light Curtain

ShielDEnvironment™

MPI ShielD Environment™はプローブシステム自身に設置された高性能チャンバで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMI シールド、遮光環境を提供します。TS2000-HPプラテンは、チャックとプラテン間の放電を防止するため、ArcShield™技術を採用しております。

MPI ShielDEnvironment™

高電圧プローブ(HVP)

MPIの電圧プローブは低リークで10kV(同軸)、3kV (トライアキシャル)までの測定が可能です。接続コネクタはキーサイト社トライアキシャル/UHV コネクタ、ケスレー社トライアキシャル/UHV コネクタ、SHV、バナナコネクタなどさまざまなオシプョンより選択いただけます。

MPI High Voltage Probe

大電流プローブ(HCP)

MPIの大電流プローブはオンウエハで、200A(パルス)までの電流測定が可能です。マルチ・フィンガ型大電流プローブは大電流および低接触抵抗を実現するために針とプローブ本体が一体化されています。

MPI High Current Probe

放電防止対策LiquidTray™(オプション)

放電対策として設計されたフロリーナトトレー、LiquidTray™ はチャックに載せることにより放電を抑えることができます。ウエハはフロリナートが充填されたトレー内に保持され放電を防止して高電圧測定を可能にします。

MPI Optional Anti-Arcing LiquidTray™

高/低温時のウエハ交換が可能に

安全設計されたシングルウエハ・ローダによりどの温度でもウエハをロード、アンロードすることが可能になりました。常温までいちいち温度を上げ、下げする必要がありません。これにより測定ダウンタイムを大幅に削減できます。必要な設定は管理者権限のログインにより保護されます。

MPI TS2000-SE - Convenient Wafer Swap at Set Temperatures

MPI TS2000-HPは、温度チャック、STM(Safety Test Management'”) 機能、シングルウエハ・ローダ、防振機構、制御系統の集約など TS2000-SEの持つ優れた特徴を兼ね備えております

違いはソフトウェアから

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIRF校正用ソフトウェアQAlibria®と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®
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