Device Characterization | RF CMOS Component Characterization | Semiconductor Materials | Device Characterization | Device Characterization
RF Characterization | RF CMOS Component Characterization | Semiconductor Device Modeling | Device Characterization
RF Characterization | Device Characterization | Silicon Photonics | RF Characterization
RF CMOS Component Characterization | Semiconductor Device Modeling | Semiconductor Device Modeling
モデリングおよびプロセス開発のためのデバイス評価

MPIの定義
半導体デバイス・モデリングはディスクリートデバイス(トランジスタ、インダクタ、ダイオード等)のふるまいのモデルを、基本物理モデル、物理寸法および動作条件より導き出すことをいいます。
上記の様なデバイスをオンウエハで、正確な電気特性を測定する、デバイス特性評価は非常に重要です。
新しいデバイス技術が登場すると、新しい材料、新しいプロセス開発、新しいプロセス供給が統合されるなどして、デバイス自体が高性能になり、データの抽出量も膨大となります。デバイス特性評価における正確な電気特性測定のチャレンジは続きます。
主な必要性能
デバイス特性評価やモデリングには温度管理およびEMIシールドされた環境下での、デバイスの高精度なIV/CV、1/f、RTN、RF、ミリ波、ロードプル、ノイズ測定等が必要になります。この様な測定では、測定の再現性、プローブ・コンタクトの信頼性、内的/外的ノイズの影響、プローブやチャックの漏れ電流、測定系の温度特性、様々な温度下での測定、ソーク時間の短縮、測定器とデバイス間の電気的接続など、様々な課題に直面します。
デバイス特性評価のプロセスの中では、より多くのデータ抽出が必要になり、測定の自動化が求められます。技術的要件に加え、テストコストの削減のためにはテストセルの効率アップのための測定の自動化が鍵となります。
MPI のソリューション
テストフローを最適化し、ソーキング時間を短縮するAirCool
MPI WaferWallet