300mm Probing System | Wafer Level Testing Probe Stations | 300 mm Wafer Probing | Probe Systems | Manual Probe System | Probe Stations 

300mm Probe Station | 300mm Probing System Probe Stations | Manual Probe System | Manual Probe Station | 300mm Probing System | 300mm Probing System 

MPI TS300-SE マニュアル・プローバー

MPI TS300-SE マニュアル・プローバー

300mm Probe System | 300mm Wafer Probing| 300mm Wafer Probe| Wafer Prober | 300mm Wafer Prober

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)は優れたEMI・RFIシールド、遮光環境を実現するために設計されており、300mmウェハーサイズまで、-60〜300℃の温度範囲にての超低ノイズ、低リーク測定環境を実現します。

防振テーブルを付属しており、操作しやすい高さに設計されております。

特長と利点

Environmental Chamber | EMI/RFI/light-tight shielding | ultra-low noise | Low Leakage Measurement | 300mm Wafer Probe

Click to Enlarge

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

Manual Probe Station |

Click to Enlarge

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF4ポートまたはDC/ケルビンポートを8ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

 

Click to Enlarge

エア・ベアリング ステージ

TS300-SEは、MPI独自のエア・ベアリング・ステージ設計により片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することにより微調整をすることを可能にしました。下記Zチャック軸調整機能もご参照ください。

Probe System | Probe Station | Manual Prober | 200 mm Probe Station | 200 mm Probing System | Manual Probe System

Click to Enlarge

独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™

再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、 プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。本機能はTS200-SEに標準で装備されており、あやまってプローブやウェハーを損傷することを防止するとともに、直感的にかつ正確に位置決め/コンタクトを可能にし、再現性の高い測定を実現します。

さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ(50/100/150μm)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

Click to Enlarge

チャックZ軸調整機構

TS300-SEはエアーベアリングXYステージに加えて、微細で正確なコンタクト/オーバートラベル制御やプローブカードのドロップチップ補正用に、μm分解能の5 mm Zチャック調整機能を搭載しています。

1mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。20mm空気圧リフトによりウエハーの簡単で安全なローディング/アンローディングが可能です。

Click to Enlarge

チャック・オプション

TS300-SEではお客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

MPIとERS社が共同設計した 新しい300 mmサーマルチャックAirCool®PRIME T技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

移行時間の短縮、電気的性能の向上、不活性ガス雰囲気下でのテストの容易さ、および現場でのアップグレード性は、AirCool®PRIMEサーマルチャック・システムの付加価値です。

常温チャックについては同軸、トライアキシャル、RFチャック(校正基板用セラミック補助チャック2台付)からお選びいただきます。

Click to Enlarge

温度制御

ウェハーロード用のドアは15°C以下になると自動的にロックされるようになっております。これはMPI独自の機能となっており、TS300-SEは業界一安全性の高いマニュアル・プローバーといえます。

さらに温度チャックの制御はタッチスクリーンにて操作でき、オペレーターの操作しやすいプローバー前面に設置しております。

Probe Cards | MicroPositioners | Wafer Chuck | Wafer Probe | Wafer Probing | Failure Analysis | Design Validation

Click to Enlarge

ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックは、ERS社が特許をもつAC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

Click to Enlarge

顕微鏡オプション

MPI 顕微鏡 顕微鏡のラインアップとして、MPI製 SuperZoom™ SZ10 単眼鏡筒 顕微鏡、42mm WD以上を確保可能な12倍光学ズームのMegaZoom™ MZ12、人間工学的にすぐれた三眼鏡筒顕微鏡、20倍接眼レンズ付10倍光学ズームEyeZoom™ EZ10 顕微鏡をご用意しております。EZ10は90mmの広い作動距離を確保でき、10μmの光学的分解能を持ち合わせております。

アップグレード

TS300-SEはモジューラー設計を採用しており、温度チャック、顕微鏡、ポジショナ等アプリケーションによりアップグレードもしくは構成を変更することが可能なため将来のCOO(Cost of Ownership)に貢献します。

MPIのShielDEnvironment™付MPI TS300-SEマニュアル・プローバーは最高のEMIシールド環境を提供し、 デバイス特性評価、モデリングRF /マイクロ波WLR評価故障解析, 設計検証および ハイパワーデバイス対応.