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TS300-SE プローブシステム

MPI TS300-SE - 300 mm Manual Probe System with ShielDEnvironment™

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)は、優れたEMI · RFIシールドおよび遮光環境を実現するために設計されており、-60~ 300 ℃での超低ノイズ、低リーク測定環境を実現します。

特長と利点

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™ は、プローブシステム自身に設置された高性能な環境チャンバで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

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ShielDCap™

M PI ShielDEnvironment は、最大RF4ポート、またはDC/ケルビンポートを8 ポートまで搭載可能です。

M PI ShielDCap™ は簡単に取り外しができ、さらEMIシールド対応のプローブ・カードホルダにも容易に交換でき、作業効率に大きく貢献します。

MPI ShielDCap™

エアベアリング・ステージ

独自のエアベアリング・ステージにより片手で簡単にウエハのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。XY/θ マイクロメ ータ機構を搭載することにより微調整(25×25 mm)も可能にしました。チャックのZ軸調整機構については本ページ下方にてご紹介します。

MPI TS300-SE - Air Bearing Stage

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Probe Hover Control
™付きプラテンリフト

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1 µm )プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300 µm)ロード(3 mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定物の破損を防ぐセーフティ・ロック機能ももっています。本機能はTS300-SEに標準で装備されており、あやまってプローブやウエハを損傷することを防止するとともに、直感的にかつ正確に位置決め/コンタクトを可能にし、再現性の高い測定を実現します。

さらにProbe Hover Control™のホーバ高さ機能( 50 100 150 µm) がついており、パッドにプーブロを簡単に当てることが可能になります。

チャックZ軸調整機構

TS300-SEはエアベアリングXYステージに加え5 mm 高精度Z軸調整機構を持っており、精度の高い正確コなンタクトおよびオーバートラベル(スークト)、プローブカードのドロップ・チップ補正を可能にします。

1 mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。また20 mm空気圧リフトによりウエハの簡単で安全なローディング/ア ンロードが可能になります。

MPI TS300-SE - Chuck Z Control

チャック・オプション

MPI社とERS社で共同開発しました、温度チャック、AirCoolPRIMEファミリーは、測定の際の温度コントロールに柔軟性を持たすことができました。ソーキング時間も他社比で約60%も削減しました。温度遷移時間を短縮して、電気的特性を改善し、不活性化ガス下での試験も可能にしました。フィールドでのアップグレードも可能です。

常温チャックは同軸、トライアキシャル、RFチャック(校正基板用のセラミック補助チャック2 台搭載可能)から選択可能です。

MPI TS300-SE - Chucks

温度制御組み込み

ウエハロード用のドアは15℃以下になると自動的にロックされるようになっております。これはMPI独自の機能で、TS300-SEは業界一安全性の高いマニュアル型プローバシステムです。さらに温度チャックの制御はタッチスクリーンにて操作でき、オペレータが操作しやすいプローブシステム前面に設置されております。

MPI TS300-SE - Integrated Thermal Chuck Controller Panel

ERS AC3冷却技術を採用

温度チャックは、ERS社が特許をもつAC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™ 内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを再利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライエアの消費量を30~ 50%も削減することが可能になりました。

ERS Patented AC3 Cooling Technology

顕微鏡オプション

MPI顕微鏡のラインアップとして、MPI顕微鏡SuperZoom SZ10シングル・チューブ型顕微鏡、または12倍、45 mmの作動範囲を持つMegaZoom™ MZ12、人間工学的にすぐれた、20倍接眼レンズ付10倍光学ズームのEyeZoom™ EZ10顕微鏡を用意しております。EZ10は90 mmの広い作動距離を確保でき、10 µmの光学的分解能を持ち合わせております

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アップグレード

TS300-SEはモジューラ設計を採用しており、温度チャック、顕微鏡、ポジショナ等アープションによりアップグレードもしくは構成を変更することが可能なため将来のCOO (Cost of Ownership) に頁献します。

MPIShielDEnvironment™ 付きMPI TS300-SEマニュアル型プローブシステムは優れたEM Iシールド環境を提供し、デバイス特性評価モデリングRF /マイクロ波測定WLR評価故障解析設計検証およびハイパワーデバイス測定に対応します。

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