High Power Probe Station |  150 mm Wafer Prober  |  Probe Station | Manual Wafer Prober |  High Power Probe Station |  Manual Probe Stations |  Manual Probe Stations  

MPI ハイパワー・マニュアル・プローバー

MPI ハイパワー・マニュアル・プローバー

previous arrow
next arrow
Slider

MPIハイパワーデバイス特性評価用プローバーはオンウェハーにてハイパワーデバイスを測定するために設計されております。MPI TS150-HP(150mm)およびTS200-HP(200mm)マニュアル・プローバーはオンウェハーでハイパワー測定を可能とするパッケージとなっております。パワー半導体を広い温度範囲において非常に低い接触抵抗にて測定することが可能です。

特長と利点

Manual Probe Systems | Manual Probe Stations | High Power Probe Station | Wafer Probing Station | 150 mm Probe Station| 200 mm Probe Station | Manual Probe System

Click to Enlarge

エア・ベアリング ステージ

MPI独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータ (25x25mm)を搭載することによりさらなる微調整が可能です。

Ambient Chucks | Cold Chucks | Thermal Chuck | Temperature Chuck | Hot Chuck | Coaxial Chucks | 3kV Triaxial Ambient Chucks

Click to Enlarge

10 kV同軸または3 kV三軸周囲チャック

チャックオプションには、MPIの10 kV同軸または3 kVトライアキシャルアンビエントが含まれます チャック (同軸10kV、トライアキシャル3kV)もしくはERS社製 温度チャック -60°Cから300°Cまでの温度測定をサポートします。 サーマルタッチコントローラーは、迅速で便利な操作のためにプローバー自体に取り付けられるように設計されています。

バイアス用の電気接続を備えたチャックトップトレイは、周囲温度での高出力チャック用の簡単なアドオンです。 トレイは、費用効果の高いアーク防止ソリューションのために、Fluorinert™液体を保持するように設計されています。

* Fluorinertは米国3M Companyの商標です

Click to Enlarge

高電圧/大電流プローブ

ハイパワー測定ソリューションとして、高電圧プローブや、MPI独自の接触抵抗の低いマルチコンタクト・チップ技術を使用した大電流プローブをご用意しております。MPIの高電圧プローブは3kV(トライアキシャル)、5kV/10kV(同軸)までの高電圧セットアップにおいても低リーク電流測定が可能です。

Click to Enlarge

安全かつ高精度

標準のマニュアル機は安全対策用インターロック、EMIシールド付きの暗箱にプローバーが設置されており、低ノイズ、高精度、安全な測定環境を提供します。

Click to Enlarge

計測器とのインテグレーション

TS150-HP / TS200-HPはさまざまな計測器との接続を想定したパッケージ製品です。キーサイト製B1505(3kV/10kV)やケースレー2600-PCT-XB各計測器との最適な接続に必要な高電圧・大電流プローブ、ケーブル、アクセサリ、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなどが含まれています。

バイアス用チャック・トップトレーオプションはフロリナートを入れるために用意されており、TS150-HPのどのチャックにも簡単につけられます。アーキング対策として安価なソリューションとしてお使いいただけます。

*フロリナートは米国3M社の登録商標です。