ハイパワー・マニュアル・プローブシステム
![TS150 HP front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2023/12/TS150-HP_front-view.png)
![TS200 DP front viewdoor close 輪播1](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/TS200-DP_front-viewdoor-close_輪播1.png)
![TS200 DP front viewdoor open 輪播2](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/TS200-DP_front-viewdoor-open_輪播2.png)
MPIハイパワーデバイス評価用プローブシステムはオンウエハにてハイパワーデバイスを測定するために開発されたものです。MPI TS150-HP(150mm)およびTS200 -HP(200mm)マニュアル型のプローブシステムで、オンウエハでハイパワー測定を可能とするソリューションです。パワー半導体を広い温度範囲において低い接触抵抗にて測定することが可能です。
TS150-HP製品概要
TS200-HP製品概要
TS150-HPデータシート
TS200-DPデータシート
TS200-HPデータシート
特長と利点
10 kV同軸または3 k Vトライアキシャル・チャック
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider30/hp-manual_10kv-coaxial-or-3kv-triaxial-ambient-chucks.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider30/hp-manual_10kv-coaxial-or-3kv-triaxial-ambient-chucks-2.jpg)
MPI独自のエアベアリング・ステージにより片手で簡単にウエハのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/θマイクロメータ移動機構を搭載することによりさらなる微調整(25x25mm)が可能です。
電圧、高電流、ウルトラ・ハイパワープローブ
MPIのハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧プローブ(HVP)、高電流プローブ(HCP)およびウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)を用意しております。MPIの高電圧プローブ(HVP)では3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)はHVPおよびHCPの両方の機能を有しており、プローブを交換することなく。高電圧、高電流の測定が可能です。
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-1.-ultra-high-power-probe.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-2.-high-voltage-probe.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-3.-hc-probeprobe-arm-removed.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-4.-ultra-high-power-probe.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/5.-application_high-powers.jpg)
安全かつ高精度
標準のマニュアル型ハイパワー・プローブシステムでは、安全対策用インターロック、EMIシールド付きの暗箱が用意されており、低ノイズ、高精度かつ安全な測定が可能になります。
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/01-2.-TS200-HP_front-view_Safe-and-Accurate_輪播3.png)
![ts150 ts200 ts300 dark](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider33/ts150-ts200-ts300-dark-box.jpg)
![3 hp manual safe and accurate db110](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider33/3-hp-manual_safe-and-accurate_db110.jpg)
MPIのハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧プローブ(HVP)、高電流プローブ(HCP)およびウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)を用意しております。MPIの高電圧プローブ(HVP)では3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)はHVPおよびHCPの両方の機能を有しており、プローブを交換することなく。高電圧、高電流の測定が可能です。
標準のマニュアル型ハイパワー・プローブシステムでは、安全対策用インターロック、EMIシールド付きの暗箱が用意されており、低ノイズ、高精度かつ安全な測定が可能になります。
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-1.-ultra-high-power-probe.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-2.-high-voltage-probe.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider32/02-3.-hc-probeprobe-arm-removed.jpg)
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![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/01-2.-TS200-HP_front-view_Safe-and-Accurate_輪播3.png)
![ts150 ts200 ts300 dark](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider33/ts150-ts200-ts300-dark-box.jpg)
![3 hp manual safe and accurate db110](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider33/3-hp-manual_safe-and-accurate_db110.jpg)
計測器とのインテグレーション
TS150-HP 、TS200-HPはさまざまな計測器との接続を想定したパッケージタイプの製品です。キーサイト社B1505(3kV/10kV)やケースレー社2600-PCT-XB計測器との最適な接続、必要な高電圧、大電流プローブ、ケーブル、アクセサリ、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなどが含まれています。
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider34/1-hp-manual-instruments-integration.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider34/2-hp_connector.jpg)