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TS300-PCB – 大型ウエハおよび PCB テスト

TS300-PCBは、最大300mmのウエハおよび最大610x500mmの大型PCBボードでのテストを想定して設計された、最も適応性の高いマニュアル型プローブシステムです。RF、mmW、シグナル・インテグリティ測定、故障解析および設計検証アプリケーションに最適です。エアベアリングステージ、プローブホバーコントロール™および広範なプロービングを可能にする大型顕微鏡移動を備えた専用のプローブプラテンが特長です。

 

特長と利点

エアベアリング・ステージ

 

MPI独自のエアベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/θマイクロメータ移動機構を搭載することによりさらなる微調整(25×25 mm)が可能です。

独自のプラテンリフト機構Probe Hover Control™

 

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1 µm)プラテンリフト機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300 µm)、ロー ド(3 mm)の3つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定物の破損を防ぐセーフティ・ロック機能も持っています。これらの機能は高周波測定およびハイパワー測定時に大変重要で、正確で安定な測定を保証いたします。

TS200およびTS300には、さらにホーバ高さ(50または100 µm)機能がついており、パッドにプロ ーブを簡単にコンタクト可能です。

専用プローブプラテン

 

TS300-PCBではプラテンの高さを20 mm動かすことが可能です。また、RFマイクロポジショナを長方方向または任意に動かすことができ、TDRインピーダンス、Ｓパラメータ、クロストーク、220 GHzの広い周波数範囲にわたるSパラメータ測定も可能です。大型の顕微鏡マウント、PCBホルダおよび最適に設計されたプラテンにより、500 x 460 mmという広い範囲でのプロービングが可能になります。

PCBホルダ

 

TS300-PCBはいろいろな常温チャックまたは300 mm PRIME温度チャックと組みあわせが可能です。また、PCB用に大きなホルダーを用意しており、最大、24” x 20”(610 mm x 500 mm)のPCBを搭載可能です。また、専用のPCBホルダを用いることにより、最小、2”x 2” (50 mm x 50 mm) のPCBまたはパッケージICを搭載可能です。 2つのセラミック製補助チャックを用いてミリ波帯でのRF校正が正確に実施できます。

マニュアル型プローブシステム用MPI SENTIO®

 

革新的なマルチタッチ型プローバコントロール・ソフトウェアスイート、SENTIO®を使用することにより、プロービング手順を簡素化、最適化することができます。このソフトウエアにより、MPIのマニュアル型プローブシステム用のプログラマブル型顕微鏡ステージのナビゲーションとRFキャリブレーションの自動化を実現します。

PCB測定の為のMPI TITAN™ プローブ

 

TITAN™プローブは、凹凸のあるパッドやトレースでも安定な測定を可能にする信頼性の高いRFプローブです。スプリングロード型の個別のコンタクト、小さなチップ幅、および様々なスタイルを備えたTITAN™プローブは、精度と正確性を保証します。新しく開発した深度のあるタイプと超深度のタイプを備えたTITAN™プローブは、mmW帯においても、部品が搭載されたPCBでの最適なプロービングを実現します。

QAlibria® – 正確なRF システム校正

 

mmW周波数範囲まで最も正確なRF校正を保証するために設計されたRF校正ソフトウェア、QAlibria®はMPIのマニュアル型プローブシステムの能力を向上させます。QAlibria®は様々なRF校正法をサポートし、カスタムされたオンウエハRF標準、RFプローブおよびRF校正基板に対応します。