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MPI TS50 – 大学用マニュアル・プローバ

MPI TS50 – 大学用マニュアル・プローバ

MPI TS50 Manual Probe Station

MPI TS50手動プローブシステムは、ICエンジニアリング、シングルダイプロービング、およびDC / CVおよびRF測定アプリケーションでの学術用途向けに特別に設計されています。

市場で最小のフットプリント(50 x 300 mm)を備えたTS300は、機能と測定機能を損なうことなく、便利な操作を可能にし、迅速なセットアップを提供するために、最も単純な形状に設計されています。

特長と利点

Chuck Stage Control | Wafer Chuck | Thermal Chuck | Hot Chuck | Cold Chuck | Ambient Chuck | Thin Wafer Handling

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Easy Stage

MPI TS50 には2種類のチャックステージをご用意しております。 Easy Stageは 真空吸着型ステージで,片手で操作できるため、X/Y, シータ操作が容易にできます。写真は簡単なDC/CV測定に適した機種となります。

Linear 50x50mm XY Stage | Single Die probing | Manual Probe Stations

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50mm×50mm リニアXYステージ

XYステージは独立したXYリニア機構(50x50mm)となっており、さらに微細なX/Y/Θマイクロメータ機構(25mm×25mm)により微調整が可能です。RF測定や温度チャック搭載時には必須のオプションとなります。

20 mm Height Adjustment

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20 mm高さ調整機構

プローブ・プラテンは20mmの高さ調整機構がついており、すべてのアプリケーションに使用可能です。すべてのポジショナでコンタクト/セパレーション操作が可能です。

Triaxial Chuck - Hot Chucks - Wafer Chucks

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トライアキシャルチャック

RF測定用に設計されたTS50の50mm トライアキシャル・チャックには正確なRFキャリブレーションを実現するための校正基板、クリーニング基板を載せるためのセラミック補助チャックが搭載されております。

MicroPositioners

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ポジショナ用調整機構

RFプローブのアライメントを容易にするためポジショナの直角調整機構を標準で搭載しております。

MicroPositioners

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ポジショナ・オプション

MPI MP25ポジショナは最大8台、MP40ポジショナは最大6台までのが搭載可能で、マルチ・パッドおよびマルチ・デバイスのレイアウトに対応します。

Manual Probe System | Wafer Chuck Options | Thermal Chucks

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顕微鏡オプション

DC/CV測定には実体顕微鏡を、RF測定、ロードプルなどの測定には単眼鏡筒高倍率ズーム顕微鏡など、多数取りそろえております。

Manual Probe Station - IC Holder

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チップホルダー

オプションのチップ・ホルダを使用することにより最小1mm角のチップの測定が可能です。また簡便なバキューム・スイッチにより 10mm角までのチップを安全に固定することができます。校正基板を載せるための補助チャックと同じ高さに設計されているためRF測定にも使用でき、チップ・ホルダオプションは高温チャックを含むどのチャックにも搭載可能となっております。