MPI TS50 – 大学用マニュアルプローバ
MPI TS50マニュアル型プローブ・システムはICエンジニアリング、単一ダイ・プロービングおよびDC/IV、RF測定アプリケーションでの学校用途に適した設計になっています。TS50 は市場で最小のフットプリント(300 x 300 mm) を持つプローバで、機能と測定ファンクションを損なうことなく、便利な操作で、迅速な測定セットアップを可能にします。
特長と利点
特長と利点
TS50には2種類のチャックステージが用意されていますEasy Stageは真空吸着型ステージで、片手で操作ができ、XY、θ操作が簡単にできます。このステージはDC/CV測定アプリケーションに良く使用されます。
リニア50×50 mm XY ステージ
リニア50×50 mm XY ステージは迅速で独立した軸移動が可能になっています。さらに25mm x 25mm XY-θマイクロメータにより微調整が可能です。RF測定や温度チャック搭載時には必須の選択になります。
20 mm 高さ調整機構
プローブ・プラテンには20 mmの高精度高さ調整機能がついており、いろいろなアプリケーションに対応可能です。すべてのマイクロポジショナでコンタクト/セパレーション操作が可能です。
トライアキシャル・チャック
RF アプリケーション向けに、TS50のトライアキシャル・チャックには、RF校正用のセラミック型補助チャックが搭載されています。
マイクロポジショナ用の直角調整機構
RFプローブのアライメントを容易にするRFマイクロポジショナの直角調整機構を標準で搭載しています。
マイクロポジショナ構成
マイクロポジショナはMPI MP25 では最大8台、MPI MP40 では最大6台までの搭載が可能です。マルチパッドおよびマルチデバイスのレイアウトに対応します。
顕微鏡オプション
DC/CV測定には実体顕微鏡を、RF測定にはシングルチューブ型高倍率ズーム顕微鏡など、多種取り揃えています。
ICホルダ
オプションのICホルダを使用することにより最小1mm角のチップの測定が可能です。また簡便なバキューム・スイッチにより10mm角までのチップを安全に固定することができます。RF校正基板を載せるための補助チャックと同じ高さに設計されているので、RF測定にも使用できます。ICホルダは高温チャックを含む、すべてのチャックに搭載可能です。
