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MPI顕微鏡

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MPIは顕微鏡製造メーカと協力し、プローブシステムでの測定に最適な顕微鏡を提供いたします。これらの顕微鏡は最先端のウエハ・ナビゲーション機能と観察能力を持っています。DC/CV RF/ミリ波のアプリケーションなど、測定の用途に合わせた最適な一台を選択いただけます。詳細につきましては「顕微鏡製品概要」を参照ください。

特長と利点

iMAG®デジタル顕微鏡

MPI iMAG®シリーズは高分解能デジタル顕微鏡で、MPIのマニュアルおよびオート・プローブシステム用に開発されたものです。優れた色分解能と早いフレームレートによりウエハ・ナビゲーションを容易に実現します。1.1 インチ、6.55MP 撮像素子の搭載によりエッジシャドウ効果を抑え、光学的に可能な限り広いFOV(実視野)を実現しました。iMAG® はプローブシステム制御用ソフトウェア SENTIO® と一体化しており、自動化された機能(フォーカス、ウエハ・アライメント、インデックス認識、ウエハ・マップ作成、ラテラル・ダイ補正、Z方向のオンザフライ補正)に加え、自由に定義されたFOV位置で、ポイント・アンド・シュート、フリック、パン、デジタルズームなどさまざまなマルチタッチ機能が使用いただけます。

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シングル・チューブ型顕微鏡

MPISuper ZoomSZ10MegaZoomMZ12シングル・チューブ型顕微鏡を使用することにより、長い作動距離で、高倍率が実現できます。設置スペースが小さいことにより、RF、ミリ波、ロードプルといったアプリケーションで、計測器のテストヘッド、チューナなどを搭載する場合でも、DUTとの距離が短くできるメリットがあります。自動化されたMegaZoom AMZ 12シングル・チューブ型顕微鏡はMPIのオート・プローブシステム、フルオート・プローブシステムには最適な一台で、SENTIO®span>制御用ソフトウェアと連動してズーム機能を自動化できます。

 

MPI Optics - MZ12 - Single tube solutions

三眼鏡筒顕微鏡

MPI独自のEyeZoom™ EZ10顕微鏡は人間工学に基づき設計された三眼 実体顕微鏡となり、10倍の光学ズームにより2μmレベルまでの高分解能な上、90mmの作動距離があるため、ストレスなくRFプローブやケーブルの交換を行うことができます。オプションのリングライト照明の追加により、材質の違う評価物や校正基板、ウェハーパッドの視認性がさらに向上し、RF、ミリ波、ロードプル測定において最適な一台となります。

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高倍率顕微鏡

MPIのプローブシステムは、故障解析、インターナル・ノードのプロービングに必要とされる高倍率顕微鏡にも対応しております。MoticPSM -1000、ミツトヨ製F570などの顕微鏡も搭載可能です。

MPI Optics - PSM-1000 with movement_High-power microscopes

専用 CCDカメラ

MPIは多くの用途にご使用いただける1080カメラの販売をしております。Bluetoothとマウスにより操作可能で、パソコンが不要です。付属の8GBSDカードに保存して記録できます。マニュアル・プローブシステムに最適なカメラになります。

MPI Dedicated Camera - CCD 1080
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