TS150、TS200、TS300プローブシステム
![ts150 a front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider40/ts150-a_front-view.png)
MPI TS150 - 150 mm Manual Probe System
![ts200 advance front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider40/ts200-advance_front-view.png)
MPI TS200 - 200 mm Manual Probe System
![ts300 advance front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider40/ts300-advance_front-view.png)
MPI TS300 - 300 mm Manual Probe System
![mpi manual system with polytec](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider40/mpi-manual-system-with-polytec.jpg)
MPI TS200 with Polytec MSA600 Motion System Analyzer
MPI TS150、TS200、TS300プローブシステムは優れた機能が豊富なマニュアル型ステーションで、 簡単、 直惑的、 便利な機能により、高精度な測定を保証します。
MPI TS150、TS200、TS300プローブシステムは優れた機能が豊富なマニュアル型ステーションで、 簡単、 直惑的、 便利な機能により、高精度な測定を保証します。
特長と利点
![Lock Position](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-1.png)
![Unlock & Loading Position](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-2.png)
![Separation Position](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-3.png)
![Contact Position with 50 µm Hover Height](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-4.png)
![In Contact](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-5.png)
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-1.png)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-2.png)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-3.png)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-4.png)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2024/01/Unique-Platen-Lift-w.-PHC-5.png)
独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™
測定精度はコンタクト精度に依存します。 再現性の高い(1µm)プラテンリフト機構とともに、 コンタクト、 コンタクト・セパレーション(300 µm)、 ロー ド(3 mm)の3つの独立したポジショニンが可能となっており、プローブ・被測定物の破損を防ぐセーフティ・ロック機能も持っています。これらの機能は高周波測定およびハイパワー測定時に大変重要で、正確で安定な測定を保証いたします。
TS200およびTS300には、さらにホーバ高さ(50または100 um)機能がついており、パッドにプロ ーブを簡単にコンタクト可能です。
チャック・オプション
お客様のさまざまな要求仕様およびご予算によりチャック・オプションをご用意しております。 ラインアップにはMPI製同軸チャックおよびトライアキシャル・チャック(同軸10 kV、トライアキシャル3 kV)もしくはERS社製温度チャックを用意しております。 写頁はサーマル・タッチ・コントローラを示ており、温度設定が簡単に行えます。
顕微鏡チルト機構
上方90度へ空気圧で簡単に操作できる顕微鏡チルト機構はプローブのセットアップ、交換を容易にします。
![TS150 TS200 TS300 Optic Tilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider42/ts150-ts200-ts300-optic-tilting-2.jpg)
![TS150 TS200 TS300 Optic Ttilting](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider42/ts150-ts200-ts300-optic-ttilting.jpg)
MPI TS150, TS200 & TS300プローブシステム
これらのプローブシステムはウェハサイズが150、200および300mmまでのウェハおよび基板の測定用に設計されており、 費用対効果の高いマニュアル型プローブシステムとなっております。 故障解析、 設計検証およびIC設計、WLR評価、MEMS、ハイパワーデバイス評価 、デバイス特性評価、モデリング等にご使用いただけます。