TS150、TS200、TS300プローブシステム

独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™

測定精度はコンタクト精度に依存します。 再現性の高い(1µm)プラテンリフト機構とともに、 コンタクト、 コンタクト・セパレーション(300 µm)、 ロー ド(3 mm)の3つの独立したポジショニンが可能となっており、プローブ・被測定物の破損を防ぐセーフティ・ロック機能も持っています。これらの機能は高周波測定およびハイパワー測定時に大変重要で、正確で安定な測定を保証いたします。

TS200およびTS300には、さらにホーバ高さ(50または100 um)機能がついており、パッドにプロ ーブを簡単にコンタクト可能です。