ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™ ではRFを4ポートまたはDC/ケルビンポートを8 ポートまでプラテンに搭載可能です。

MPI ShielDCap™は必要な構成に簡単に変更可能です。小さなものの積み重ねが日々の作業効率向上に貢献します。

STM™(Safety Test Management)システム

独自のSTMシステムにより測定中は全てのドアが開かないようになっていますので、安全に測定できます。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が定安に実施できます。STMにより自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、STMは自動的にチャックをセーフモードに切替え、なるべく早くチャック温度を露点温度より高く設定します。TS2000-SEオート・プローブシステムではSTMにより測定環境が守られ、安全でより信頼性の高い測定が可能になります。

Vertical Control Environment™ (VCE)

VCE™機能によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、プローブカードのチップ・ドロップに関係なくコンタクト・ポジションまでを自動化できます。この機能はプローブカードでもDC/RFプローブでも有効で、特にShielDEnvironment™ のチャンバ内での安全な測定を可能にしました。

MPI THZセレクション

TS2000-SEを業界初の専用ミリ波、THz測定システムに構成できます。

• ミリ波、THz帯でのRF測定を自動化可能にしました
• MPI THZセレクションには、TS200-THZ用に開発した優れた周波数エクステンダの統合設計が組み込まれています。エクステンダを200 mmウエハ全体にホバーできます
• DUTまでの距離を最小限に抑えられて、優れた測定指向性と測定精度が確保できます

ハードウェア・コントロールバネル

ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローブシステムを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows^®ベースの測定器の操作にも使用します。

計測器とのインテグレーション

測定器用トレー(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能です。

制御用ソフトウェアSENTIO®

M PIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになりよす。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。