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200 mm Wafer Probing | Manual Wafer Prober 

Manual Prober System | 200 mm Wafer Probing

Wafer Probers | 200 mm Wafer Prober

TS2000-SE シールド付8インチ オート・プローバ

TS2000-SE シールド付8インチ オート・プローバ

200mm Automatic Probe System | Automatic Probe Station | Probe Station | Wafer Probe Station | 200mm Automated Probe Station

優れた性能

MPIのTS2000-SEは、 テストコスト削減を実現する業界初200mm研究開発用オート・プローバーです。 これらはMPIのShielDEnvironment™技術をもとに設計され、超低ノイズ、高精度、高い信頼性のDC/CV、RF、ハイパワー測定を実現します。

特長と利点

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ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

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ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF4ポートまたはDC/ケルビンポートを8ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

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自動化されたシングル・ウェハー・ローダー

本機能は測定を自動化する際のプリ・アライメント付ウェハーローダーになります。100、150または200mmサイズウェハーのロード・アンロードができ、操作は簡単で直感的です。ロールアウトタイプ構造のものと違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

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STM™(Safety Test Management)システム

独自のSTM™システムにより測定中はすべてのドアが開かないようになっているのため測定したデータは安全です。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が安定に実施できます。STM™により自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、自動的にチャックをセーフモードに切り替え、なるべく早くチャック温度を露点温度より高く設定します。TS2000-SEオート・プローバーはSTM™システムにより測定環境が守られ、安全で、より信頼性の高い測定が可能になります。

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高/低温時のウェハー交換が可能に

安全設計されたシングル・ウェハー・ローダーによりどの温度でもウェハーをロード/アンロードすることが可能となりました。常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。必要な設定は管理者権限のログインにより保護されます。

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VCE™ (Vertical Control Environment)

VCE™機能によりプローブ先端を側面から表示することが可能になり、プローブカードのチップ・ドロップに関係なくコンタクト・ポジションまでを自動化することが可能になりました。

プローブ・カードでもDC/RF針でも本機能は有効で、特にShielDEnvironment™のチャンバー内での安全な測定を可能にしました。

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ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

TS2000-SE Configured with MPI THZ-Selection

MPI THZ-セレクション

TS2000-SEシステムを、市場で最初の1つとして、専用のmmWおよびTHzプローブステーションに変換します。

  • 卓越した測定精度を備えた200 mmウェーハの自動テストが可能になりました
  • MPI THZセレクションには、MPIの革新的な周波数エクステンダーの統合設計が組み込まれています。 TS200-THZ、エクステンダーを200 mmウェーハ全体にホバーします
  • これにより、最高の測定指向性と精度を提供するために、DUTまでの距離を最小限に抑えます

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温度および防振制御

チャックの温度制御はプローバー前面に搭載されているタッチスクリーンにより制御でき、より早く測定の対応が可能です。

またTS2000-SEは高性能防振プラットフォームに搭載されており、さまざまな測定環境に対応できます。別購入する防振台に比べて設置スペースが非常に小さくすることができます。さらにオプションの測定器用トレーの設置により、ケーブル長を短くし、測定をより確実なものにします。

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ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルは完全にプローバーと一体化しており、MPI社の何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全かつ簡単にプローバーを制御することができます。キーボードとマウスはソフトウェアを必要な時に操作するためとWindows®ベースの測定器の操作に使用します。

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計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することにより、ケーブル長を短くし、RF/ミリ波測定をより確実なものにします。

違いはソフトウェアから

MPI Software Suite SENTIO®

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用自動プローバーはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

 

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。