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TS2000-SE オート・プローブシステム- 未来はここからスタート

MPI TS2000-SE - 200 mm Automated Probe System with ShielDEnvironment™

優れた性能

MPIのTS2000-SEは、テストコスト削減を実現する業界初の200 mm 研究開発用オート・プローブシステムです。これらはMPIのShielDEnvironment™ 技術を基本に設計され、超低ノイズ、高精度、高い信頼性のDC/CV、RF、ハイパワー測定を可能にします。

TS2000-SE製品概要

TS2000-SEデータシート

特長と利点

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™ は、プローブシステム自身に設置された高性能な環境チャンバで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド，遮光環境を実現します。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™ ではRFを4ポートまたはDC/ケルビンポートを8 ポートまでプラテンに搭載可能です。

MPI ShielDCap™は必要な構成に簡単に変更可能です。小さなものの積み重ねが日々の作業効率向上に貢献します。

自動化されたシングルウエハ・ローダ

本機能は測定を自動化する際のプリアライメント付ウエハローダです。100、150または200 mmウエハのロード、アンロードができ、操作は簡単で直感的です。ロールアウト構造のものと違い、RF測定の際の校正基板の設定や、プローブカードのクリーニングといった自動化を簡単にします。

MPI TS2000-SE - Automated Single Wafer Loader

STM™(Safety Test Management)システム

独自のSTMシステムにより測定中は全てのドアが開かないようになっていますので、安全に測定できます。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が定安に実施できます。STMにより自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、STMは自動的にチャックをセーフモードに切替え、なるべく早くチャック温度を露点温度より高く設定します。TS2000-SEオート・プローブシステムではSTMにより測定環境が守られ、安全でより信頼性の高い測定が可能になります。

高／低温時のウエハ交換が可能に

安全設計されたシングルウエハ・ローダにより、どの温度設定においてもウエハをロ一ド、アンロードすることが可能です。いちいち常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。必要な設定は管理者権限のログインにより保護されます

Vertical Control Environment™ (VCE)

VCE™機能によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、プローブカードのチップ・ドロップに関係なくコンタクト・ポジションまでを自動化できます。この機能はプローブカードでもDC/RFプローブでも有効で、特にShielDEnvironment™ のチャンバ内での安全な測定を可能にしました。

ERS社AC3 冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™ の空気をパージする際、使用済みドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライエアの消費量を30~ 50％も削減することが可能となりました。

MPI THZセレクション

TS2000-SEを業界初の専用ミリ波、THz測定システムに構成できます。

ミリ波、THz帯でのRF測定を自動化可能にしました
MPI THZセレクションには、TS200-THZ用に開発した優れた周波数エクステンダの統合設計が組み込まれています。エクステンダを200 mmウエハ全体にホバーできます
DUTまでの距離を最小限に抑えられて、優れた測定指向性と測定精度が確保できます

TS2000-SE Configured with MPI THZ-Selection

温度および防振制御

チャックの温度制御はプローブシステム前面に搭載されているタッチスクリーンにより制御でき、より早く測定への対応が可能です。またTS2000-SEは高性能防振プラットフォームが搭載されており、さまざまな測定環境に対応できます。別購入する防振台に比べて設置スペースを小さくすることができます。測定器用トレー(オプション)の設置により、ケーブル長を短くし、測定をより確実なのもにします。

MPI TS2000-SE - Integrated Hardware Control Panel and Thermal Chuck Controller Panel

ハードウェア・コントロールバネル

ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローブシステムを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows^®ベースの測定器の操作にも使用します。

MPI TS2000-SE - Integrated Hardware Control Panel and the Keyboard Tray

計測器とのインテグレーション

測定器用トレー(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能です。

制御用ソフトウェアSENTIO®

M PIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになりよす。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria®と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®

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