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MPI RFプローブおよびアクセサリ

MPI RFプローブ

RFプローブは同軸ケーブルを伝送する電磁波エネルギーをウェハー上のDUTおよび接触パッドに伝えるための変換冶具です。これらの変換は最小のひずみとエネルギー損失で実行されなくてはなりません。

 

RF DUTにはデスクリート型から複雑なICそして様々な周波数範囲で動作するものまで様々な種類はあります。したがってRFプローブは広い周波数範囲およびプローブ・ピッチそして針構成がサポートされなくてはなりません。また、プローブの価格と製品寿命も測定のテストコストに直接影響を与えるので、非常に重要な要素であり、TITANプローブではこれらに十分な配慮をしております。

 

様々なRFアプリケーションで要求される高度な要求を理解して、MPI社ではこれらのご要求に対応できるようにTITAN RFプローブを開発いたしました。TITAN RFプローブ・シリーズはお客様の高度な要求にお応えできるよう最適設計になっております。 TITAN™ RFプローブはMPI社が持つ優れたMEMS技術を活用してRFテストで要求される最新テクノロジーの問題解決と製造技術の改善に貢献いたします。

RF校正基板

プローブ・チップおよびRF校正標準器はコプレナ構成で作成されており、校正に必要な標準器、オープン、ショート、ロードおよびラインが含まれております。これらにより、様々なプローブ・チップRF校正が可能となります。

 

MPI社の ACシリーズRF校正基板はTITANプローブのRF校正に最適な設計になっております。校正標準器の設計はプローブ構成、チップ幅に基づいて用意されます。標準器の等価インピーダンスのモデル・パラメータはRF校正確度の重要な要素であり、それらは正確なモデルから導きだされます。

RF 校正用ソフトウエア

MPI社の長期にわたるウエハ・レベルRF校正の経験およびマイクロ波帯のRF測定の優れた経験に基づいて開発されたのが QAlibria® RF校正用ソフトウエアです。

 

QAlibria® RF校正ソフトウエアは複雑で面倒なRFシステム校正を非常に簡単にわかりやすく実行します。ユニークなマルチタッチ・スクリーンおよび多言語GUIにより使い易さは抜群です。また、NISTマルチラインTRL校正を内蔵しており、ウエハ・レベルでのRFシステム校正に 画期的な校正法を提供いたします。

RFケーブルおよびアクセサリ

RF測定を成功させるためには測定システムをいかにして最適な構成にするかに依存します。最上級の測定を実現するためにMPI社では優れたフレキシブル・ケーブル、導波管部品、様々なアダプタを用意しております。また、校正されたトルク・レンチ、TITAN™ プローブ用プラナリゼーション・ツール、クリーニング用アクセサリを用意して、システムの測定精度の長期安定をお約束いたします。

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