RFプローブおよびアクセサリ
MPI RFプローブ
RFプローブは同軸ケーブルを伝送する電磁波エネルギーをウエハ上のDUTおよび接触パッドに伝えるための変換冶具です。これらの変換は最小のひずみと最小のエネルギー損失で実行されなくてはなりません。
RF DUTにはデスクリート型から複雑なIC、そして様々な周波数範囲で動作するものまで、様々な種類があります。したがってRFプローブには広い周波数範囲およびプローブピッチそしてプローブチップ構成がサポートされなくてはなりません。
また、プローブの価格と製品寿命も測定のテストコストに直接影響を与えますので、非常に重要な要素であり、TITANプローブではこれらに十分な配慮がなされています。
様々なRFアプリケーションで要求される高度な要求を理解して、MPI社ではこれらのご要求に対応できるようにTITAN RF™プローブを開発いたしました。TITAN™ RFプローブ・シリーズはお客様の高度な要求にお応えできるような設計になっております。TITAN™ RFプローブはMPI社が持つ優れたMEMS技術を活用してRFテストで要求されるRFプローブに最新テクノロジの提供と製造技術で貢献いたします。
マルチコンタクト・プローブ
設計のデバッグおよび最新RF ICの試験は大変な複雑さを要求されるタスクです。RF入出力信号に加えて、発信の無いDCバイアス、デジタルコントロール信号等が必要になります(例えばアンプの利得変更の場合)。
これらの信号は個々のICに対して、できるだけ小さな接触パッドで接触される必要があります。このような要求に応えるのが、MPIのTITAN™ RFプローブ技術を使って開発されたマルチコンタクト・プローブです。15までのコンタクト・ピン、周波数帯域6 GHz、ピッチ幅50~300 umの構成により、様々のご要求にお応えできます。このプローブは在庫品をベースに作成されますので、短い製作時間で製品の提供ができます。TITAN™マルチコンタクト・プローブの構成をオンラインのデザイン・キャプチャ・ツールを使用して決めた後、RF IC試験を1週間後にスタート可能です。
RF校正基板
プローブチップおよびRF校正標準器はコプレナ構成で作成されており、校正に必要な標準器、オープン、ショート、ロードおよびラインが含まれております。これらにより、様々なプローブチップのRF校正が可能となります。
MPI社の ACシリーズRF校正基板はTITAN™プローブのRF校正に最適な設計になっております。校正標準器の設計はプローブ・チップ構成、ピッチ幅に基づいて用意されます。標準器の等価インビーダンスのモデル・パラメータはRF校正確度の重要な要素であり、それらは正確なモデルから導きだされます
RF 校正用ソフトウエア
MPIの長期にわたるウエハレベルR F校正の経験およびマイクロ帯、RF測定の優れた経験に基づいて開発されたのがQAlibria® RF校正用ソフトウエアです。
QAlibria® RF校正ソフトウエアは複雑で面倒なRFシステム校正を非常に簡単に、かつわかりやすく実行できます。ユニークなマルチタッチ・スクリーンおよび多言語GUIにより使い易さは抜群です。また、NISTマルチラインTRL校正を内蔵しており、ウエハレベルでのRFシステム校正に画期的な校正法を提供いたします。
RFケーブルおよびアクセサリ
RF測定の成功は測定システムをいかにして最適な構成にするかに依存します。最上級の測定を実現するためMPIでは優れたフレキシブル・ケーブル、導波管部品、様々なアダプタを用意しております。また、校正されたトルクレンチ、TITAN™ プローブ用プラナリゼーション・ツ ール、クリーニング用アクセサリを用意して、システムの測定精度の長期安定を約束いたします。
TS200
TS300
TS150-THZ
TS200-SE
TS150
TS200-THZ
TS300-SE
TS2000-SE
TS3000
TS3000-SE
SiPH Probe System
TS2000
TS2000-IFE
TS150-HP & TS200-HP
TS2000-DP Probe System
TS2000-HP Probe System
TS3000-HP
TS3500-HP
TS2500-HP
TS3500-SE with WaferWallet®
TS2000-IFE with WaferWallet®MAX
TS2500 Series
TS2500-SE
チャックシステム
マイクロポジショナ
DC、RFプローブアーム
顕微鏡
レーザ・カッタ
TITAN™ RFプローブ
RF校正ソフトウェア
RF Calibration Software
RFアクセサリ
校正基板