Wafer Prober

150mm Probe Stations

150mm Manual Probe Systems

200mm Probe Stations

150 mm Wafer Prober

Wafer Prober Manufacturer

Wafer Prober

Wafer Prober Machine

Wafer Probing Station

150mm Manual Probe Station

MPI PCBプローブシステム

MPI manual probe systems configured with variety of different holders

MPIの全てのマニュアル型プローブシステムはウエハの測定のみではなく、いろいろなホルダを用意することにより、シングルエンド型およびデュアル型RFプローブを用いてPCBのSI(シグナル・インテグリティ)評価が可能です。チャネルの端で信号を測定することにより、アイパターン、ジッタ、歪、TDRインピーダンス、クロストーク、カップリング、損失、Sパラメータを測定できます。MPI TS150-THZおよびTS200-THZプローブシステムを用いればサブTHzまで周波数領域を拡大した測定が容易に可能です。

300 mm ウエハおよび大型PCBの測定

MPI TS300-PCB – Testing on 300 mm Wafers and Large PCBs

TS300-PCBはMPIの持つ汎用性に富むマニュアル型プローブシステムです。300 mmまでのウエハの測定および最大610 x 500 mmの大型のPCBの測定が可能です。MPIのマニュアル型プローブシステムの持つエアーベアリング機構、Probe Hover Control PHC™機構や広いプローブ範囲をカバーできる大型顕微鏡マウント を使用することにより、RF、ミリ波SIの測定が正確かつ迅速に行えます。また、故障解析デザイン評価等のアプリケーションにも使用可能です。

特長と利点

エアベアリング・ステージ

MPI独自のエアベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/θマイクロメータ移動機構を搭載することによりさらなる微調整(25×25 mm)が可能です。

MPI TS300-PCB - Air Bearing Stage with Optional Fine-Adjustment Micrometers

Slider

Slider

独自のプラテンリフト機構Probe Hover Control™

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1 µm)プラテンリフト機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300 µm)、ロー ド(3 mm)の3つの独立したポジショニンが可能となっており、プローブ・被測定物の破損を防ぐセーフティ・ロック機能も持っています。これらの機能は高周波測定およびハイパワー測定時に大変重要で、正確で安定な測定を保証いたします。

TS200およびTS300には、さらにホーバ高さ(50または100 µm)機能がついており、パッドにプロ ーブを簡単にコンタクト可能です。

専用プローブプラテン

TS300-PCBではプラテンの高さを20 mm動かすことが可能です。また、RFマイクロポジショナを長方方向または任意に動かすことができ、TDRインピーダンス、Sパラメータ、クロストーク、220 GHzの広い周波数範囲にわたるSパラメータ測定も可能です。大型の顕微鏡マウント、PCBホルダおよび最適に設計されたプラテンにより、500 x 460 mmという広い範囲でのプロービングが可能になります。

TS300-PCB – Dedicated Probe Platen offers standard 20 mm probe platen height movement

PCBホルダ

TS300-PCBはいろいろな常温チャックまたは300 mm PRIME温度チャックと組みあわせが可能です。また、PCB用に大きなホルダーを用意しており、最大、24” x 20”(610 mm x 500 mm)のPCBを搭載可能です。また、専用のPCBホルダを用いることにより、最小、2”x 2” (50 mm x 50 mm) のPCBまたはパッケージICを搭載可能です。 2つのセラミック製補助チャックを用いてミリ波帯でのRF校正が正確に実施できます。

TS300-PCB – PCB Holder accommodates variety of ambient or 300 mm PRIME thermal chucks and/or a large holder

マニュアル型プローブシステム用MPI SENTIO®

簡単で使い易いい最新型マルチタッチ型プローブシステム・コントロール・ソフトウエア、SENTIO®は複雑な操作が要求される、今日のプローブ・テストシステムのコントロールに最適なソフトウエアです。

マニュアル型プローブシステムとSENTIO®を組み合わせることにより、プログラマブル型顕微鏡マウントをコントロールして、プロービングのナビゲーションが可能になります。また、プログラマブル型マイクロポジショナを使用することにより、RFの自動校正が可能になります。

MPI SENTIO® for Manual Probe Systems
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