MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF４ポートまたはDC/ケルビンポートを８ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

TS200-SEは他のMPI製マニュアル・プローバー TS150、TS200と同じコンセプトのプラテンリフト機構を持っております。独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。 また25mm×25mmのXY/Θマイクロメータ機構を搭載することにより微調整をすることを可能にしました。 チャックのZ軸調整機構については本ページ下方にてご紹介しております。

再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、 プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。本機能はTS200-SEに標準で装備されており、あやまってプローブやウェハーを損傷することを防止するとともに、直感的にかつ正確に位置決め/コンタクトを可能にし、再現性の高い測定を実現します。

さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ(５０/１００/１５０μm)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

TS200-SEにはエア・ベアリングXYステージに加え5mm高精細Z軸調整機構を持っており、精度の高い正確なコンタクトおよびオーバー・トラベル(スケート)、プローブカードのドロップ・チップ補正を可能にします。

1 mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。

また20mm空気圧リフトによりウエハーの簡単で安全なローディング/アンロードが可能です。

TS200-SEではお客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

• 常温チャック： 同軸、トライアキシャル、RFチャック(校正基板用のセラミック補助チャック２台が搭載)。
• 空冷ERS温度チャック(-60～300℃まで選択が可能)

ウェハーロード用のドアは15°C以下になると自動的にロックされるようになっております。これはMPI独自の機能で、TS200-SEは業界一安全性の高いマニュアル・プローバーといえます。

さらに温度チャックの制御はタッチスクリーンにて操作でき、オペレーターの操作しやすいプローバー前面に設置しております。

温度チャックは、ERS社が特許をもつAC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50%も削減することが可能となりました。

MPI 顕微鏡 顕微鏡のラインアップとして、MPI製 SuperZoom™ SZ１０ 単眼鏡筒 顕微鏡、４２mm WD以上を確保可能な１２倍光学ズームのMegaZoom™ MZ１２、人間工学的にすぐれた三眼鏡筒顕微鏡、２０倍接眼レンズ付１０倍光学ズームEyeZoom™ EZ１０ 顕微鏡をご用意しております。EZ１０は９０ｍｍの広い作動距離を確保でき、10μmの光学的分解能を持ち合わせております。