MPIオート・プローブシステム

24/7要求に耐える信頼性の高いシステム

 

AST部門のプローブシステムは光デバイス測定部門で1万台以上の納入実績のあるプローブシステムと同じ制御用コントローラを使用しております。24/7運転の実績があり、信頼性のあるコトンローラを研究開発のプローバにも導入することにより信頼性の高い測定を保証します。

製品概要

 

TS2000、TS3000 オート・プローブシステムは、常温から300 Cまでのチャックを搭載することができます。
TS2000-SE、TS3000-SE は、-60 ~ 300℃までの温度範囲に対応しており、TS2000-SEは、ウエハ・ローダを搭載し、すべての温度範囲において自動測定を可能にします。

型式の「SE」はMPIの高性能環境チャンバーShielDEnvironment™技術の略称で、優れたEMIシールド、遮光環境により、超低ノイズ測定を可能にしました。