複数温度下での自動測定 ATMT™
MPI
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MPI は複雑なプローブステーションの操作を可能な限り簡単にし、トレーニングコストを最小限に抑え、かつテストコストを削減することが重要と考え、ATMT™による複数温度下での自動測定を実現しました。MPIのWaferWallet®またはWaferWallet®MAXとの組み合わせにより、デバイスモデリングおよびウエハレベル信頼性測定では、ATMT™機能により多くの測定データが効率良く測定でき、テストセル全体の効率向上がはかれます。
特長と利点
ATMT™ DC
デバイスモデリングやウエハレベル信頼性のDC 温度特性測定には、主にセラドンの高温型低電流リークのプローブカードを使用します。MPIとセラドンのプローブカードの組み合わせにより、最先端の測定ソリューションが提供可能です。-60～300℃の広い温度範囲での複数温度下での自動DC測定( ATMT™ DC)が可能になりました。また、マイクロポジショナを使う測定用に、-40～175℃の温度範囲でATMT™を可能にするために、熱安定度の高いケルビンLTMプローブも開発しました。