MPIハイパワー・プローブシステム

ハイパワー・プローブシステム・ソリューション

 

MPI ではマニュアル型、オート型、フルオート型など多様なハイパワー用プローブシステムをお客様の用途および予算に応じてご用意しています。

マニュアル型は汎用性に富み、低価格ですので研究機関、大学などで有効にお使いいただけます。また、ファンドリーにて少量かつ複雑で正確なデバイス評価が必要な場合にも有効にお使いいただけます。これらのシステムは測定精度、安全を犠牲にすることなくハイパワー特性計測器と接続することにより、3kV(トライアキシャル)/10kV(同軸)および600A(パルス)までの測定が可能です。MPI のオート・ハイパワー・プローブシステムはMPIのSENTIO® プローバ制御ソフトウェアにより、高いスループットで自動測定を可能にします。

TS2000-DP はオープン型で汎用性に富むシステムで、室温から 300°Cまでの温度範囲での測定が可能です。また、必要に応じて10kV以上の電圧測定ができるように改造することも可能です。オープン型ですので、種々の改造にも対応可能なフレキシブルでローコストなシステムです。

TS2000-HP および TS3000-HPは MPI ShielDEnvironment™シールド機構がついており、-60℃からの低温測定から、300℃までの高温測定に対応でき、低雑音測定も可能にします。

TS2500 および TS3500 シリーズ・フルオート・プローブシステムは”ハイパワー”仕様に構成可能で、多数枚ウエハの自動測定を可能にします。

高電圧、高電流、ウルトラ・ハイパワープローブ

 

MPI のハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧、高電流プローブも用意しております。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。MPIの高電圧プローブでは3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブを使用すれば、10kV/600Aまでのハイパワーデバイスをオンウエハで測定可能です。

MPI独自のトライアキシャル・チャック接続

 

MPl独自のトライアキシャル・コネクタは低雑音3kV(トライアキシャル) および10kV(同軸)の測定構成変更をチャックの接続を換えることなく容易に行えます。

 

ハイパワーチャック

 

MPIの常温チャックまたはERS Air Cool® 温度 チャックは-60°C から 300°Cの広い温度範囲をサポートし、金メッキのチャックトップを使用して接触抵抗をできるだけ小さくする工夫が施されています。チャックはシステムに一体化しており、70μmの薄いウエハを搭載することが可能です。ハイパワーチャックはTaikoウエハも搭載可能です。