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MPI ハイパワー・プローバー

10 kV – 600 A

MPI ハイパワー デバイス特性評価用プローバーはオンウェハーでハイパワーデバイスを測定するために設計されたプローバーです。MPIのハイパワー・プローバーは3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)、600A(パルス)までのハイパワーデバイスを低雑音で完全なシールド環境下において測定することが可能です。

ハイパワーデバイス特性評価 プローバーソリューション

MPIのハイパワー・プローバーは マニュアル, オート  完全自動化 プローバーまで、さまざまなご要求仕様やご予算に合わせて用意されています。

 

マニュアル・ハイパワー・プローバー 複雑で正確なデバイス特性評価を必要とするが、大量測定を必要としない研究機関、大学、およびファウンドリに柔軟性と費用対効果の高いソリューションを提供します。 これらのシステムは、3 kV(トライアックス)/ 10 kV(同軸)および600 A(パルス)までの使いやすさ、安全性、測定精度を損なうことなく、高度な研究作業をサポートするために、高度なハイパワー測定機器と接続するように設計されています。

 

オート・ハイパワー・プローバー はMPIの SENTIO® プローバー制御用ソフトウェアを使い、測定のオートメーション化を可能とし、非常に高いスループットを実現します。

 

TS2000-DP 300°Cまでの過熱測定をサポートするオープンで柔軟な測定セットアップ用に設計されています。 そのオープンプラテン設計により、将来的に10 kVを超える電圧にシステムをアップグレードすることが可能になり、投資に価値がもたらされます。

 

TS2000-HP また、TS3000-HPにはMPI ShielDEnvironment™が付属しており、-60°Cの低い温度から300°Cの高い温度までの広い温度範囲と超低ノイズ測定機能を提供します。

 

TS2500  TS3500シリーズ複数のウェーハを意図せずにテストする究極の自動化と柔軟性を提供するために、「ハイパワー」バージョンとしても構成できます。

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MPIハイパワーテクノロジー

高電圧、高電流および超高電力プローブ

MPIハイパワープロービングソリューションには、接触抵抗を低減するためにMPIの適切なマルチコンタクトチップを使用する専用の高電圧および高電流プローブが含まれています。 MPIの高電圧プローブは、3 kV 3軸または5 kV&10 kV同軸セットアップまでの高電圧テスト中に漏れ電流の測定が可能です。 さらに、MPI Ultra-High-Powerプローブは、10kV / 600Aまでの超高出力デバイスのウェーハ測定に対応したソリューションを提供します。

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MPI独自のトライアキシャル・チャック接続

MPI独自のトライアキシャル・チャック・コネクタにより、チャック接続を変更することなく超低ノイズ3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)のテストセットアップを変更することが可能です。

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ハイパワー・チャック

MPIの常温チャックおよびERS AirCool® 温度 チャック -60°Cから300°Cまでの幅広い温度範囲をサポートし、低接触抵抗と金メッキのチャックトップで製造されています。 チャックは完全に統合されたアセンブリであり、70 µmの薄さのウェーハを保持できます。 ユーザーは、高出力チャックを構成して、Taikoウェーハタイプをサポートできます。

MPI Anti-arcing LiquidTray™

LiquidTray™

アーキング対策として設計されたフロリナートトレーLiquidTray™はチャックに載せることによりアーキングを抑えることができます。ウェハーはトレー内に保持されアーキングフリーな高電圧測定を実現します。

MPI Anti-arcing Probe Card

アーキング防止プローブ・カード

さらに、MPIは、チャック設定温度と直接相関する20〜200℃の範囲で、オプションの加圧空気の温度制御を提供しています。 高温でのアーク放電のない高電圧試験が可能になりました。

安全対策

規制当局が承認したMPI高出力システムは、安全インターロック対応のダークボックスまたは赤外線レーザーライトカーテン設計で構成され、安全なテスト環境を提供します。

 

MPI ハイパワー・プローバー機種一覧

  Manual 150 & 200 mm
Automated 150 & 200 mm
Automated 300 mm

TS150-HP

TS200-HP

TS2000-DP

TS2000-HP

TS2500

TS3000-HP

TS3500-HP
Ambient and Thermal Chucks
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
3kV Triax &
10kV Coax
Thermal Range
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
-60°C...300°C
Current Range
Max. 600A (pulsed)
TAIKO Wafer Support
Safety Protection & Interlock
DarkBox
ShielDEnvironment™
Light Curtain
DarkBox
ShielDEnvironment™
Light Curtain
DarkBox
ShielDEnvironment™
Light Curtain
ShielDEnvironment™
Light Curtain
Anti-Arcing Probe Card
Anti-Arcing LiquidTray™
-
ArcShield™
Wafer Loader
-
-
-
2x Cassettes
-
WaferWallet®

● recommended ○ available

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