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MPIハイパワー・プローブシステム

10kV-600A

 

MPIハイパワー デバイス評価用プローブシステムはオンウエハでハイパワーデバイスを測定するために設計されたプローブシステムです。MPIのハイパワー・プローブシステムは3kV(トライアキシャル)10kV(同軸)600A(パルス)までのハイパワーデバイスを低雑音で完全なシールド環境下において測定可能です。

 

ハイパワー・プローブシステム・ソリューション

MPI ではマニュアル型、オート型フルオート型など多様なハイパワー用プローブシステムをお客様の用途および予算に応じてご用意しています。

マニュアル型は汎用性に富み、低価格ですので研究機関、大学などで有効にお使いいただけます。また、ファンドリーにて少量かつ複雑で正確なデバイス評価が必要な場合にも有効にお使いいただけます。これらのシステムは測定精度、安全を犠牲にすることなくハイパワー特性計測器と接続することにより、3kV(トライアキシャル)/10kV(同軸)および600A(パルス)までの測定が可能です。MPI オート・ハイパワー・プローブシステムMPISENTIO® プローバ制御ソフトウェアにより、高いスループットで自動測定を可能にします。

TS2000-DP はオープン型で汎用性に富むシステムで、室温から 300°Cまでの温度範囲での測定が可能です。また、必要に応じて10kV以上の電圧測定ができるように改造することも可能です。オープン型ですので、種々の改造にも対応可能なフレキシブルでローコストなシステムです。

TS2000-HP および TS3000-HPは MPI ShielDEnvironment™シールド機構がついており、-60℃からの低温測定から、300℃までの高温測定に対応でき、低雑音測定も可能にします。

TS2500 および TS3500 シリーズ・フルオート・プローブシステムはハイパワー仕様に構成可能で、多数枚ウエハの自動測定を可能にします。

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ハイパワーテクノロジー

高電圧、高電流、ウルトラ・ハイパワープローブ

MPI のハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧、高電流プローブも用意しております。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。MPIの高電圧プローブでは3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブを使用すれば、10kV/600Aまでのハイパワーデバイスをオンウエハで測定可能です。

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MPI独自のトライアキシャル・チャック接続

MPl独自のトライアキシャル・コネクタは低雑音3kV(トライアキシャル) および10kV(同軸)の測定構成変更をチャックの接続を換えることなく容易に行えます。

ハイパワーチャック

MPIの常温チャックまたはERS Air Cool® 温度 チャックは-60°C から 300°Cの広い温度範囲をサポートし、金メッキのチャックトップを使用して接触抵抗をできるだけ小さくする工夫が施されています。チャックはシステムに一体化しており、70μmの薄いウエハを搭載することが可能です。ハイパワーチャックはTaikoウエハも搭載可能です。

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放電防止オプション

LiquidTray™

放電防止用に設計されたLiquidTray”‘ をハイパワーチャックの上に搭載することにより、放電を抑止できます。トレイの中に入れられた放電防止液にウエハを浸すことにより高電圧でも放電無しで測定可能です。

 

MPI Anti-arcing LiquidTray™

放電防止プローブカード

これに加えて、MPI では高気圧型プローブカードおよび高気圧温度コントロール装置を用意しております。これらを高温チャックと組み合わせることにより、 20 から 200℃の温度範囲で, 放電無しで高電圧測定が可能になります。

 

MPI Anti-arcing Probe Card

安全要求に適合

MPIのハイパワー・プローブシステムは暗箱または赤外線レーザのライトカーテンにより安全インターロックがかかる構造になっており、測定時の安全が保障されています。安全機構は第三者の認証を得ています。

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MPI ハイパワーセレクションガイド

  マニュアル型150 & 200 mm
オート型150 & 200 mm
オート型300 mm

TS150-HP

TS200-HP

TS2000-DP

TS2000-HP

TS2500

TS3000-HP

TS3500-HP
常温および 温度チャック
3kV Triax & 10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
温度範囲
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
-60°C...300°C
電流レンジ:最大600A (パルス)
TAIKO ウエハ・サポート
安全機能およびインターロック
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
放電防止用プローブカード
放電防止LiquidTray™
-
ArcShield™
ウエハローダ
-
-
-
2x カセット
-
WaferWallet®

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  マニュアル型150 & 200 mm
オート型150 & 200 mm
オート型300 mm

TS150-HP

TS200-HP

TS2000-DP

TS2000-HP

TS2500

TS3000-HP

TS3500-HP
常温および 温度チャック
3kV Triax & 10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
3kV Triax &
10kV 同軸
温度範囲
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
20°C...300°C
-60°C...300°C
-60°C...300°C
電流レンジ:最大600A (パルス)
TAIKO ウエハ・サポート
安全機能およびインターロック
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
放電防止用プローブカード
放電防止LiquidTray™
-
ArcShield™
ウエハローダ
-
-
-
2x カセット
-
WaferWallet®

● 推奨 ○ 可能

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