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TS3500シリーズWaferWallet®付き – 確度+柔軟性+自動化

MPI TS3500-SE - 300 mm Automated Probe System with ShielDEnvironment™

TS3500 およびTS3500-SE MPITS3000 TS3000-SEと同等の仕様で、Wafer Wallet® オプションを搭載することにより、300mmフルオート・プローブシステムとしてご使用いただけます。MPITS3500 WaferWallet® システムは他社のセミオート・プローブシステムより安い価格でフルオート機能プローブステーションを提供し、お客様のテストコストに大きく貢献します。

特長と利点

The WaferWallet®

このシステムの開発は、非常に正確なIV-CV1/fRF、ミリ波およびロードプル測定を数枚のウエハから自動で行いたいというご要求に応えることから始まりました。

MPIWaferWallet® は測定精度を損なうことなく、TS3500シリーズを自動システムに拡張します。WaferWallet® は150200または300 mmのウエハを手動で搭載できます。人間工学的なローディングのため5つの個別トレイで設計されており、異なる温度で同一規格のウエハを最大5枚まで全自動テスト可能です。

MPI WaferWallet™

高温/低温でもウエハ交換が可能に

ウエハのローディングおよびアンローディング中にチャックを常温に戻す必要はなくなりました。WaferWallet® は独自の機能により、チャックをテトス温度のままで、ウエハのロード、ア ン ロ ードを可能にし、測定時間を削減します。

Slider

テストの自動化

ノッチ・インジケータによるトレイ内でのウエハアライメント機能はウエハのロード速度と信頼性を向上させます。またお客様の必要とされる自動化のレベルに応じて、TS3500-SE WaferWallet® にはプレアライナー、IDリーダ、PTPAのオプションを用意しております

Wafer ID Reader

SENTIO® Dashboard

 

MPISENTIO® 制御用ソフトウェアは先進的なGUIデザインとなっております。

  • マルチタッチ、簡単で直感的な操作性
  • スマートデバイスのように一つのウィンドウにて操作可能
  • ダッシュポード(DashBoard)によりナビゲーションが簡単に
  • 次の操作が予測可能な合理的な操作
  • プローブステーションの寿命を延ばすための無料アップレグード

WaferWallet® のグラフィカルな画面により、ウエハがロードされているか空なのか、ウエハサイズ(150/ 200/ 300 mm)、オリフラやノッチの向き、ウエハID(ある場合)、ウエハ・マップ上の測定完了率などが、一目でわかるように視覚化されています。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®
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