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WaferWallet™搭載でTS3500シリーズは高精度かつオートメーション化を実現

WaferWallet™搭載でTS3500シリーズは高精度かつオートメーション化を実現

MPI TS3000-SE – with ShielDEnvironment™

TS3500およびTS3500-SE はMPIの TS3000  TS3000-SE と同等の仕様で、WaferWallet™オプションを搭載することにより、300mmフルオート・プローバーとしてご使用いただけます。MPIは他社のセミオート製品より安い価格でフルオート機能を提供でき、お客様のテストコストに貢献します。

特長と利点

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The WaferWallet™

モデリングと新技術開発プロセスにおけるデバイス特性評価の一般的な方法は、少数のウェハーから、非常に正確なIV-CV、1/f、RF、mmW、およびロードプル測定を介してデータを抽出することです。

MPIのWaferWallet™は測定機能を損なうことなくTS3500シリーズのオートメーションに拡張します。 WaferWallet™は150、200、または300mmの “モデリング”ウェハーを手動で搭載できます。人間工学的なローディングのためのXNUMXつの個別トレイで設計されています。 異なる温度で同一規格のウェハーを5枚まで全自動テスト可能です。

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高温/低温でもウェハー交換が可能に

ウェーハのローディングおよびアンローディング中にチャックを常温に戻す必要はなくなりました。 WaferWallet™は独自の機能により、チャックをテスト温度のままで、ウェーハのロード/アンロードを可能にし、貴重な測定時間を節約します。

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テストの自動化

ノッチインジケータによるトレー内でのウェハーアライメント機能はウェハーのロード速度と信頼性を向上させます。またお客様の必要とされる自動化のレベルに応じて、TS3500-SEにはプレアライナー、IDリーダー、PTPAのオプションを用意しております

違いはソフトウェアから

MPI Software Suite SENTIO®

SENTIO® ダッシュボード

MPIの SENTIO® 3.0 制御用ソフトウェア 先進的なGUIデザインとなっております。

  • マルチタッチ、簡単で直感的な操作性
  • スマートデバイスのように一つのウィンドウにて操作可能
  • ダッシュボードにより簡単にナビゲーションが可能
  • 次の操作が予測可能な合理的な操作
  • プローブステーションの寿命を延ばすための無料アップグレード

WaferWalletのグラフィカルな画面により、ウェハーがロードされているか空なのか、ウェハーサイズ(150/200/300mm)、オリフラやノッチの向き、ウェハーID(あれば)、ウェハー・マップ上の測定完了率などが、一目で分かるように視覚化されています。