TS2000-IFE シリーズ – THZ 選択

MPI TS2000-IFE THZ選択はMPIの汎用性200mmプローブシステム、TS2000-IFE をベースにしたもので、この選択により、RF、ミリ波、THz およびロードプル測定に適したシステムに変更できます。-60℃から300℃の広い温度範囲において測定の方向性、精度を犠牲することなく安定な測定が実現できます。

  • 200 mmウエハの自動試験を、
  • サブTHzおよびTHz周波数帯において、Sベンドを使用せずに構成可能
  • ロードプル測定において、信号系の距離を短くして、広いチューニング範囲と大きなΓ(反射係数)を提供可能
  • 簡単で便利な操作。周波数バンドの交換も簡単

MPI THZ選択により、TS200-THZ用に設計した画期的な周波数エクステンダー機構を組込むことができます。

周波数エクステンダーを200 mmウエハ面上部で動かすことができます。

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