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デバイス特性評価

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シリコンフォトニクス

TS2000-DP 暗箱付ハイパワー・マニュアル・プローバー

TS2000-DP 暗箱付ハイパワー・マニュアル・プローバー

300mm Automatic Probe Station

TP2000-DPはオンウェハー、20℃～300℃の温度範囲でパワーデバイスのさまざまな測定に対応し、お求めやすい価格にて提供いたします。3kV(トライアキシャル)、10ｋV(同軸)、600A(パルス)までのハイパワーデバイスの測定を実現します。

MPI-AST-V20-001TS2000シリーズ製品概要

MPI-AST-V20-001TS2000シリーズデータシート

特長と利点

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プローブカード＆マイクロポジショナー

TS2000-DPは最大で高電圧ポジショナ１２台(トライアキシャル12kV、同軸3kV)、マルチ・フィンガー用大電流(最大10A)ポジショナ４台まで搭載可能です。

プローブでの測定およびアーキング防止用ハイパワー・プローブ・カードを使用することによりハイパワー・デバイス特性評価に最適な測定環境を提供します。

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アーキング防止技術

プローバーはArcShild™を搭載しており、チャックとプローブ・カード間のアーキングを防止することが可能です。

アーキング防止プローブ・カードはDUTに高空気圧をかけ、パッシェンの法則に基づいてパッド間のアーキングを防ぎます。

アーキング防止として設計されたフロリナートトレーLiquidTray™はチャックに載せることによりアーキングを抑えることができます。ウェハーはトレー内に保持されアーキングフリーな高電圧測定を実現します。

MPIチャックは10°Cで300 kV（同軸）までの測定が可能です。

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計測器とのインテグレーション

TS2000-DPはさまざまな計測器とのインテグレーションを考慮された設計となっており、キーサイトB15005(3kV/10kV)ケースレー社モジュール・セレクタ2600-PCT-XB、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなど、最適な接続を実現するための高電圧、大電流プローブ、ケーブルなどを各計測器に合わせたパッケージ形態にてご用意しております。

違いはソフトウェアから

MPI Software Suite SENTIO®

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用自動プローバーはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

 

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。

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