TS2000-DP暗箱付きオート・ハイパワー・プローブシステム

放電防止技術

プローブシステムにはArcShield™が搭載されており、チャックとプラテン間の放電を防止します。

放電防止プローブカードはDUTに高空気圧をかけ、パッシェンの法則に基づいて、パッド間の放電を防ぎます。放電防止用に設計されたフロリナート用トレー、LiquidTray™ をチャックに載ることにより放電を抑えることができます。ウエハはフロリナートが充填されたトレー内に保持され、放電無しの高電圧測定を実現します。MPIチャックは300℃で10kV（同軸）までの測定が可能です。

計測器とのインテグレーション

TS2000-DPはさまざまな計測器とのインテグレーションを考慮した設計とっなております。キーサイト社B1505(3kV/10kV)、ケースレ一社モジュール・セレクタ2600-PCT-XB、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなど、最適な接続を実現するための高電圧、大電流プローブ、ケーブルなどを各計測器に合わせたパッケージとして用意しております。

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。