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TS2000-DP暗箱付きオート・ハイパワー・プローブシステム

MPI TS2000-DP - High Power Automatic Probe Station

TP2000-DPはオンウエハで、20℃~ 300 ℃の温度範囲でパワーデバイスのさまざまな測定に対応可能で、お求めやすい価格にて提供可能です。3kV (トライアキシャル)、10 kV (同軸)、600A(パルス)までのハイパワー・デバイスの測定を可能にします。

MPI先端テクノロジー、PHC™機能をオプションで追加(または後付け)可能です。

特長と利点

プローブカード & マイクロポジショナ

TS2000·DPは最大で高電圧ポジショナ12 台(10kV、トライアキシャル、3kV,同軸)、マルチ・フィンガー用大電流(最大400A)マイクロポジショナ 4 台まで搭載可能です。多数のプローブでの測定および放電防止用ハイパワー・プローブカードを使用することによりハイパワー・デバイス特性評価に最適な測定環境を提供します。

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放電防止技術

プローブシステムにはArcShield™が搭載されており、チャックとプラテン間の放電を防止します。

放電防止プローブカードはDUTに高空気圧をかけ、パッシェンの法則に基づいて、パッド間の放電を防ぎます。放電防止用に設計されたフロリナート用トレイ、LiquidTray をチャックに載ることにより放電を抑えることができます。ウエハはフロリナートが充填されたトレイ内に保持され、放電無しの高電圧測定を実現します。MPIチャックは300℃で10kV(同軸)までの測定が可能です。

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計測器とのインテグレーション

TS2000-DPはさまざまな計測器とのインテグレーションを考慮した設計とっなております。キーサイト社B1505(3kV/10kV)、ケースレ一社モジュール・セレクタ2600-PCT-XB8020ハイパワー・インタフェース・パネルなど、最適な接続を実現するための高電圧、大電流プローブ、ケーブルなどを各計測器に合わせたパッケージとして用意しております。

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制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIRF校正用ソフトウェアQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®
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