TS2000-DP暗箱付きオート・ハイパワー・プローブシステム
TP2000-DPはオンウエハで、20℃~ 300 ℃の温度範囲でパワーデバイスのさまざまな測定に対応可能で、お求めやすい価格にて提供可能です。3kV (トライアキシャル)、10 kV (同軸)、600A(パルス)までのハイパワー・デバイスの測定を可能にします。
特長と利点
プローブカード & マイクロポジショナ
TS2000·DPは最大で高電圧ポジショナ12 台(10kV、トライアキシャル、3kV,同軸)、マルチ・フィンガー用大電流(最大400A)ポジショナ 4 台まで搭載可能です。多数のプローブでの測定および放電防止用ハイパワー・プローブカードを使用することによりハイパワー・デバイス特性評価に最適な測定環境を提供します。
放電防止技術
プローブシステムにはArcShield™が搭載されており、チャックとプラテン間の放電を防止します。
放電防止プローブカードはDUTに高空気圧をかけ、パッシェンの法則に基づいて、パッド間の放電を防ぎます。放電防止用に設計されたフロリナート用トレー、LiquidTray™ をチャックに載ることにより放電を抑えることができます。ウエハはフロリナートが充填されたトレー内に保持され、放電無しの高電圧測定を実現します。MPIチャックは300℃で10kV(同軸)までの測定が可能です。
計測器とのインテグレーション
TS2000-DPはさまざまな計測器とのインテグレーションを考慮した設計とっなております。キーサイト社B1505(3kV/10kV)、ケースレ一社モジュール・セレクタ2600-PCT-XB、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなど、最適な接続を実現するための高電圧、大電流プローブ、ケーブルなどを各計測器に合わせたパッケージとして用意しております。