広いプローブ・プラテン

TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブ・プラテンを採用しており、DCポジショナ１２台またはRFポジショナ４台まで搭載可能です。

ロードプル・チューナーやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します

簡単なウェハーローディング

広い前面ドアからのウェハーのロード・アンロードは非常に使いやすく、100、150、200 mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや５mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック２台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルにはMPI社のもつ何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全に、より簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーボードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows®ベースの測定器の操作にも使用します。ウェハーチャックおよび補助チャック用真空コントロールパネルはロード/アンロードの際に簡単に行えるよう右手前に配置されております。

温度チャック

温度チャックは下限２０℃もしくは室温～最大３００℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、こちらも装置手前に配置され非常に使い勝手がよくなっております。

プローブカードおよびポジショナを同時に

アクティブプローブによる同時プロービングにシングルプローブ、4.5 × 11”用ロープロファイルプローブカード・ホルダー、チャック間距離の低いプレートは最適であり、設計検証や故障解析で特に低温でパッシブ/アクティブ・プローブを同時に使う測定の場合はプラテンとチャックの距離が短いのでに理想的なシステムといえます。 設計検証 や 故障解析 などの測定で、プラテンとチャックの距離が短いので、特に低温でパッシブ/アクティブ・プローブを同時に使う測定の場合にＴＳ３０００は理想的なシステムといえます。

一体型暗箱

TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。

省スペースでインターロック内蔵、さまざまな測定器に対応したインタフェース・パネルは遮光環境やレーザーの使用を必要とする測定に安全な測定環境を提供します。

背面パネルからのアクセスが可能で、測定条件の変更が必要なときに容易に素早くセットアップが可能です。

計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することにより、ケーブル長を短くし、 高周波/ミリ波特性評価 デバイス評価、WLR、RF/ミリ波測定などのアプリケーションに適した３００mmセミオート・プローバーです。

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用自動プローバーはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

 

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria^® と完全に統合されており、操作性もSENTIO^® と同じコンセプトを採用しております。