TS2000オート・プローブシステム-進歩的
特長と利点
広いプローブプラテン
TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブプラテンを採用しており、DCポジショナ12 台またはRFポジショナ4台まで搭載可能です。ロードブル用チューナやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します。
簡単なウエハ・ローディング
広い前面ドアからのウエハのロード、アンロードは非常に使いやすく、100、150 、200 mmウエハはもちろんのこと、割れウエハ、4 mm角のICチップなども搭載可能です。補助チャック2台は手前に位置しており、ロード、アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウト構造のものと違い、RF測定の際の校正基板の設定や、プローブカードのクリーニングなどの自動化を簡単にします。
ハードウェア・コントロールバネル
ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローブシステムを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows
温度チャック
温度チャックの使用で2 0 ℃、または室温~最大300℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、装置手前に配置され、使い勝手がよくなっています。
プローブカード、マイクロポジショナを同時に使用
暗箱一体型
TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。
省スペースでインターロック内蔵、LEDによる内部照明、さまざまな測定器に対応したインタェフース・パネルが用意されています。遮光環境やレーザを必要とする測定に安全な測定環境を提供します。背面パネルからのアクセスが可能で、測定セットアップ変更が必要なときに、容易に素早く実行可能です。
計測器とのインテグレーション
測定器用トレイ(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能で、高周波/ミリ波デバイス測定などのアプリーケションに適した200 mmセミオート・プローブシステムです。
防振機構
TS2000は、振動対策として2種類の防振機構を組み込むことにより、さまざまな測定環境にも対応できます。防振台を別途購入する場合に比べて設置スペースを小さくすることが可能になりました。