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TS2000オート・プローブシステム-進歩的

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違いを体感ください

TS2000は半導体テスト市場のニーズに対応すべく、設計を改良してきたプローブシステムです。MPIの他のプローブシステムのアクセサリとも互換性があり、故障解析設計検証IC設計WLR評価、MEMS評価、ハイパワーデバイス測定高周波/ミリ波特性評価などのアプリケーションに適しています。

常温、常温/高温モデルがあり、1 秒あたり10ダイ(チップ)の測定を可能としており(構成により異なる。)、ディスクリート半導体RFデバイスの試作試験などに最適な一台となりま。

MPI先端テクノロジー、PHC™機能をオプションで追加(または後付け)可能です。

特長と利点

広いプローブプラテン

TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブプラテンを採用しており、DCポジショナ12 台またはRFポジショナ4台まで搭載可能です。ロードブル用チューナやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します。

MPI TS2000 - Large Probe Platen

簡単なウエハ・ローディング

広い前面ドアからのウエハのロード、アンロードは非常に使いやすく、100150 200 mmウエハはもちろんのこと、割れウエハ、4 mm角のICチップなども搭載可能です。補助チャック2台は手前に位置しており、ロード、アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウト構造のものと違い、RF測定の際の校正基板の設定や、プローブカードのクリーニングなどの自動化を簡単にします。

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ハードウェア・コントロールバネル

ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローブシステムを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows®ベースの測定器の操作にも使用します。ウエハチャックおよび補助チャック用真空のコントロールも右前面にあり、ウエハのロード、アンロード時に有効に使えます。

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温度チャック

温度チャックの使用で2 0 ℃、または室温~最大300℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、装置手前に配置され、使い勝手がよくなっています。

MPI TS2000 - Integrated Thermal Chuck Controller Panel

プローブカード、マイクロポジショナを同時に使用

多数のアクティプローブによる同時プローピング、4.5 x 11インチ型ロープロファイル・プローブカードホルダを用いたプローブカード測定等に最適です。特に低温でパッシブ、アクティブプローブを同時に使う測定の場合はプレートとチャックの距離が短いので理想定なシステムといえます。設計検証故障解析に有効なプローブシステムです。

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暗箱一体型

TS2000-DTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。

省スペースでインターロック内蔵、LEDによる内部照明、さまざまな測定器に対応したインタェフース・パネルが用意されています。遮光環境やレーザを必要とする測定に安全な測定環境を提供します。背面パネルからのアクセスが可能で、測定セットアップ変更が必要なときに、容易に素早く実行可能です。

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計測器とのインテグレーション

測定器用トレイ(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能で、高周波/ミリ波デバイス測定などのアプリーケションに適した200 mmセミオート・プローブシステムです。

MPI TS2000 - Instrument Shelf Option

防振機構

TS2000は、振動対策として2種類の防振機構を組み込むことにより、さまざまな測定環境にも対応できます。防振台を別途購入する場合に比べて設置スペースを小さくすることが可能になりました。

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになりよす。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。

 

RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIRF校正用ソフトウェアQAlibria®と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®
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