Manual Probe Station | Probe Stations  | Probe Stations | Probe System | Probe Stations | 200mm Probe Station | 200 mm Wafer Probing 

Manual Probe Station | Probe Stations 

200 mm Wafer Probing | 200 mm Wafer Probing

Wafer Probers | 200 mm Wafer Probing

MPI TS2000 オート・プローバー

MPI TS2000 オート・プローバー

200mm Automatic Probe System | Automatic Probe Station | Probe Station | Wafer Probe Station | 200mm Automated Probe Station

違いを体感してください!

TS-2000は半導体テスト市場のニーズに対応すべく、設計を改良してきた セミオート・プローバーです。 MPIの他のプローバーのアクセサリとも互換性があり、 故障解析, 設計検証, IC設計, WLR評価 MEMS、 ハイパワーデバイス対応, 高周波/ミリ波特性評価 などのアプリケーションのデバイス測定に適しております。

常温、常温/高温モデルがあり、1秒あたり10ダイ(チップ)の測定を可能としており(構成により異なる)、RFディスクリート半導体デバイスの量産試作等の試験に最適な一台となりま。

特長と利点

Micropositioners | Semiconductor Test | Failure Analysis | Design Verification | IC Engineering | Wafer Level Reliability | MEMS | High Power | RF device testing | mmW device testing

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広いプローブ・プラテン

TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブ・プラテンを採用しており、DCポジショナ12台またはRFポジショナ4台まで搭載可能です。

ロードプル・チューナーやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します

Micropositioners | Semiconductor Test | Failure Analysis | Design Verification | IC Engineering | Wafer Level Reliability | mmW Measurements | RF Measurements | RF device testing | mmW device testing

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簡単なウェハーローディング

広い前面ドアからのウェハーのロード・アンロードは非常に使いやすく、100、150、200 mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや5mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック2台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

100mm Wafer Probing | 150mm Wafer Probing | 200mm Wafer Probing | Wafer Semiconductor Test | Wafer Chuck | Semiconductor Wafer Probe | Semiconductor Wafer Probing | Wafer Level Reliability | Wafer Probing | Wafer Prober

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ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルにはMPI社のもつ何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全に、より簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーボードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows®ベースの測定器の操作にも使用します。ウェハーチャックおよび補助チャック用真空コントロールパネルはロード/アンロードの際に簡単に行えるよう右手前に配置されております。

Thermal Chuck | Hot Chuck | Cold Chuck | Semiconductor Wafer Chuck | Wafer Chuck | Temperature Chucks

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温度チャック

温度チャックは下限20℃もしくは室温~最大300℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、こちらも装置手前に配置され非常に使い勝手がよくなっております。

Probe Cards | MicroPositioners | Single Probes | Low-profile Probe Card Holder | Probe Card Holder | Wafer Probe Card

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プローブカードおよびポジショナを同時に

アクティブプローブによる同時プロービングにシングルプローブ、4.5 × 11”用ロープロファイルプローブカード・ホルダー、チャック間距離の低いプレートは最適であり、設計検証や故障解析で特に低温でパッシブ/アクティブ・プローブを同時に使う測定の場合はプラテンとチャックの距離が短いのでに理想的なシステムといえます。 設計検証 や 故障解析 などの測定で、プラテンとチャックの距離が短いので、特に低温でパッシブ/アクティブ・プローブを同時に使う測定の場合にTS3000は理想的なシステムといえます。

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一体型暗箱

TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。

省スペースでインターロック内蔵、さまざまな測定器に対応したインタフェース・パネルは遮光環境やレーザーの使用を必要とする測定に安全な測定環境を提供します。

背面パネルからのアクセスが可能で、測定条件の変更が必要なときに容易に素早くセットアップが可能です。

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計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することにより、ケーブル長を短くし、 高周波/ミリ波特性評価 デバイス評価、WLR、RF/ミリ波測定などのアプリケーションに適した300mmセミオート・プローバーです。

防振機構

TSXNUMXは、振動対策として2種類の防振機構を組み込むことにより、さまざまな測定環境にも対応できます。防振台を別途購入する場合に比べて設置スペースを非常に小さくすることが可能となりました。

違いはソフトウェアから

MPI Software Suite SENTIO®

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用自動プローバーはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

 

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。