TS2000オート・プローブシステム-進歩的
特長と利点
広いプローブプラテン
TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブプラテンを採用しており、DCポジショナ12 台またはRFポジショナ4台まで搭載可能です。ロードブル用チューナやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します。
簡単なウエハ・ローディング
広い前面ドアからのウエハのロード、アンロードは非常に使いやすく、100、150 、200 mmウエハはもちろんのこと、割れウエハ、4 mm角のICチップなども搭載可能です。補助チャック2台は手前に位置しており、ロード、アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウト構造のものと違い、RF測定の際の校正基板の設定や、プローブカードのクリーニングなどの自動化を簡単にします。
ハードウェア・コントロールバネル
ハードウェア·コントロールパネルにはMPI社のもつ多年のプロービング経験、お客様よりのフーィドバックにより改良が重らねれ、より早く、より安全に、より簡単にプローブシステムを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーポードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows®ベースの測定器の操作にも使用します。ウエハチャックおよび補助チャック用真空のコントロールも右前面にあり、ウエハのロード、アンロード時に有効に使えます。
温度チャック
温度チャックの使用で2 0 ℃、または室温～最大300℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、装置手前に配置され、使い勝手がよくなっています。
プローブカード、マイクロポジショナを同時に使用
暗箱一体型
TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。
省スペースでインターロック内蔵、LEDによる内部照明、さまざまな測定器に対応したインタェフース・パネルが用意されています。遮光環境やレーザを必要とする測定に安全な測定環境を提供します。背面パネルからのアクセスが可能で、測定セットアップ変更が必要なときに、容易に素早く実行可能です。
TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。
省スペースでインターロック内蔵、LEDによる内部照明、さまざまな測定器に対応したインタェフース・パネルが用意されています。遮光環境やレーザを必要とする測定に安全な測定環境を提供します。背面パネルからのアクセスが可能で、測定セットアップ変更が必要なときに、容易に素早く実行可能です。
計測器とのインテグレーション
測定器用トレイ(オプション)を設置することにより、ケーブル長を短くし、測定ダイナミック・レンジおよび測定方向性を高く保てる構成が可能で、高周波/ミリ波デバイス測定などのアプリーケションに適した200 mmセミオート・プローブシステムです。
防振機構
TS2000は、振動対策として2種類の防振機構を組み込むことにより、さまざまな測定環境にも対応できます。防振台を別途購入する場合に比べて設置スペースを小さくすることが可能になりました。
制御用ソフトウェアSENTIO®
MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになりよす。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。
RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria®と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。
