TS3X00-HP – 300 mmハイパワーソリューション
MPI TS3000-HP
![ts3000 hp front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/slider39/ts3000-hp_front-view.jpg)
MPI TS3500-HP
![TS3500 HP with WaferWallet front view](http://www.mpi-corporation.jp/wp-content/uploads/2023/12/TS3500-HP-with-WaferWallet_front-view.png)
TS3000-HPおよびTS3500-HPはオンウエハでハイパワーデバイスの特性評価ができるプローブシステムです。温度範囲は -60°C ~+300°Cで、 最高3 kV (triax) / 10 kV (同軸)、 600 A の測定が可能です。薄いウエハおよびTaikoウエハの測定もオプションで可能になります。
どちらのプローブ システムもShielDEnvironment™機構がついており、低雑音での測定が可能です。また、WaferWallet®を付属したTS3500-HPはフルオート・プローブシステムで、セミオート型に比較して、測定の生産性を約10倍に向上できます。ウエハサイズは150 mm、200 mm、300 mmに対応します。SiC、GaN、IGBTの測定に最適です。