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TS3X00-HP – 300 mmハイパワーソリューション

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TS3000-HPおよびTS3500-HPはオンウエハでハイパワーデバイスの特性評価ができるプローブシステムです。温度範囲は -60°C ~+300°Cで、 最高3 kV (triax) / 10 kV (同軸)、 600 A の測定が可能です。薄いウエハおよびTaikoウエハの測定もオプションで可能になります。

どちらのプローブ・システムもShielDEnvironment™機構がついており、低雑音での測定が可能です。また、WaferWallet®を付属したTS3500-HPはフルオート・プローブシステムで、セミオート型に比較して、測定の生産性を約10倍に向上できます。ウエハサイズは150 mm、200 mm、300 mmに対応します。SiC、GaN、IGBTの測定に最適です。

詳細についてはTS3000-SETS3500-SEの以下の資料を参照ください。

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