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TS2500シリーズ – 製造テスト用フルオートプローバー

TS2500シリーズ – 製造テスト用フルオートプローバー

TS2500-RF 300mm Automatic Probe Station

MPIは過去2年間に12台以上の新製品を送り出すなど対象市場においてイノベーション・リーダーとなりました。

最新の製品リリースがRFプロダクション・テスト用のフルオート・プローバーです。MPIのさまざまなシステム・アクセサリに対応すると共に製造工程にて高性能な RF またはハイパワー測定を可能にしました。

特長と利点

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薄ウェハーハンドリング

MPIの常温および温度(ERSAirCool®)サーマルチャックは、20°Cから300°Cまでの幅広い温度範囲をサポートします。

TS2500-RFの独自なチャック及びリフト・ピンによりⅢ‐Ⅴ族の化合物ウェハーの課題でもある50μmまでの薄ウェハーを安全にハンドリングすることが可能です。RFチャックに加え校正基板やクリーニング用基板を載せるためのXNUMX台のセラミック材質の補助チャックが搭載され、高精度なRFキャリブレーションを実現できます。温度チャックも用意しております。

HPチャックは低い接触抵抗と金メッキされたチャックトップで完全にアセンブリされた状態で製造されており、70 µmまでの薄いウェハーを保持することができます。Taikoウェハーなどの測定にはハイパワー用チャックに構成を変更することも可能です。

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高いスループット

デュアル・エンドエフェクタおよびデュアル・ウェハー・カセットの採用により150/200mmウェハーの高速交換を実現します。TS2500-RFは最速毎秒10ダイ(システム構成により異なります)測定が可能で、製造工程におけるディスクリートRFデバイスおよびICの電気特性試験における最適なプローバーになります。

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高性能アライメント

T2500-RFプローバーはチャックに搭載されているアッパールッキングカメラにより高精度なアライメントが可能になり、複雑なRF測定を可能となります。 MPIのPhotonics Automation部門 のこれまでの経験により確かな結果が保証されます。

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高電圧 大電流 超ハイパワー用プローブ

MPIのハイパワープロービングソリューションには、低接触抵抗を実現するMPI独自のマルチコンタクトチップを採用した大電流プローブ、

最大3kV(トライアキシャル)または5kV/10kV(同軸)までの低リーク電流測定が可能な高電圧プローブ、

また超ハイパワー用プローブは、最大10kV / 600Aまでの超高出力デバイスのオンウェハー測定を実現します。

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完全なソリューション

TS2500は、次のようなMPIの高度なRF /高出力アクセサリで構成できます。 ポジショナー, RFケーブル, 校正基板, TITAN™RF プローブ、安全で正確なRF /高出力測定を保証するための、高出力機器接続パッケージ、Taikoウェーハサポート、またはアーク放電防止LiquidTray™。

DUTと計測器をもっとも近くなるよう設計するとともに、MPIは Rohde & Schwarz社と協力し、さらに新しい校正手法を開発し、VNAとのインテグレーションをさらに完全にしました。TS2500-RFは製造工程における複雑なRF測定を実現します。

違いはソフトウェアから

MPI Software Suite SENTIO®

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIの革新的なシングルウィンドウGUI、マルチタッチ操作 SENTIO® 制御用ソフトウェア シンプルさと明快さを提供し、オペレータの注意散漫を大幅に減らしています。

運用トレーニングを最小限に抑え、誰もが非常に短時間で専門家になることができます。

SENTIO® DashBoard™は、操作エラーを最小限に抑えることでアクティブでクリアな可視プローブシステムコンポーネントをクリックすることで、オペレーターをガイドするためにプローブシステムを明確にマッピングしています。

ソフトウェアを使用しないアップグレードはカーネルに組み込まれているため、コンピューターのオペレーティングシステムと同様に簡単に実行できます。これにより、コストを節約し、将来の準備が整います。

MPI RFキャリブレーションソフトウェアエンジンQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® –別のソフトウェアプラットフォームに切り替える必要はなく、単一の運用コンセプトの方法論に従うだけです。

SENTIO® TS2500シリーズの場合、さらに、高速ウエハーローディング用のワンボタン、カセット、スロット、ウエハーオリエンテーションのプリセット、IDリーダーが利用できない場合はウエハーIDエディター、ウエハーテストステータスに関する詳細なフィードバック、使いやすいウエハー処理を提供します。