TS2500シリーズ　-製造ライン向けフルオート・プローブシステム

優れたスループット

自動化には150/200 mmデュアル・エンドエフェクタおよびデュアル・ウエハ・カセットが採用されています。これにより、ウエハの高速交換が可能になり、測定の高速化がはかれます。TS2500-RFは毎秒10ダイ（システム構成により異なります）測定が可能で、ディスクリートRF デバイス、IC、ハイパワーデバイス等の製造ラインにおける測定に有効に使用できます。

電圧、高電流、ウルトラ・ハイパワープローブ

MPIのハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧プローブ(HVP)、高電流プローブ(HCP)およびウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)を用意しております。MPIの高電圧プローブ(HVP)では3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)はHVPおよびHCPの両方の機能を有しており、プローブを交換することなく。高電圧、高電流の測定が可能です。

完全な測定ソリューション

TS2500はMPIの持つ先進RF、ハイパワー・アクセサリと一緒に使用できます。RF測定用にはマイクロポジショナ、RFケーブル、校正基板、TITAN™ RFプロー ブ、ハイパワー測定用に測定器との接続パッケージ、TAIKOウエハのサポート、放電防止用トレイ、LiquidTray™ 等も用意しています。

またDUTと測定器の距離をできるだけ近くなるような設計を施しています。MPIは Rohde & Schwarz社等の測定器メーカと協力し、新しい校正手法を開発し、VNAとのインテグレーションをより完全なものにしています。TS2500-RFは製造工程における複雑なRFデバイスの自動測定に最適です。

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

SENTIO®TS2500の場合、さらに、高速ウエハローディング用のワンボタン、カセット、スロット、ウエハオリエンテーションのプリセット、IDリーダが利用できない場合はウエハIDエデイター、ウエハテスト・ステータスに関する詳細なフィードバック、使いやすいウエハ処理機能を提供します。