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TS2500シリーズ -製造ライン向けフルオート・プローブシステム

MPI TS2500-RF - 200 mm Fully Automated Probe System

MPI200 mmフルオート・プローブシステムはRFデバイス、ハイパワーデバイスの製造ラインでの試験用に開発されたシステムです。このシステムは24/7の製造要求に応えらえれる安定度と信頼性を持っており、アクセサリ類も豊富に用意されています。

特長と利点

薄いウエハの扱い

TS2500-RFの独自なチャックおよびリフト・ピンによりⅢ-V族の化合物ウエハの課題である50 µmまでの薄ウエハを安全に取り扱えるようになりました。RFチャックに加えてRF校正基板やクリーニング用基板を載せるための2台のセラミック製補助チャックが用意されています。この補助チャックにより高精度なRF校正が実現できます。もう一方の補助チャックはクリーニング用チャックとして使用できます。温度チャックも用意されています。ハイパワーチャックは低い接触抵抗と金メッキされたチャックトップで構成されており、70 µmまでの薄いウエハを搭載することができます。オプションでTAIKOウエハにも対応可能です。

TS2500-RF - Thin Wafer Handling

優れたスループット

自動化には150/200 mmデュアル・エンドエフェクタおよびデュアル・ウエハ・カセットが採用されています。これにより、ウエハの高速交換が可能になり、測定の高速化がはかれます。TS2500-RFは毎秒10ダイ(システム構成により異なります)測定が可能で、ディスクリートRF デバイス、IC、ハイパワーデバイス等の製造ラインにおける測定に有効に使用できます。

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アライメント機構

T2500-RFプローブシステムにはオフアキス・カメラおよびチャックに搭載されているアッパルッキング・カメラにより高精度なアライメント機能があり、複雑なRFデバイスやハイパワーデバイスの自動測定を可能にします。MPIPA(Photonics Automation)事業部のこれまでの経験を活用して、安全で信頼性の高い測定を保証します。

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電圧、高電流、ウルトラ・ハイパワープローブ

MPIのハイパワープロービング・ソリューションでは専用の高電圧プローブ(HVP)、高電流プローブ(HCP)およびウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)を用意しております。MPIの高電圧プローブ(HVP)では3kVまで(トライアキシャル)または5kV & 10kVまで(同軸)の高圧試験を可能にし、かつその時の低リーク電流測定も可能にします。高電流プローブでは接触抵抗を少なくするため、マルチコンタクト型の針を使用しています。これに加えてMPI のウルトラ・ハイパワープローブ(UHP)HVPおよびHCPの両方の機能を有しており、プローブを交換することなく。高電圧、高電流の測定が可能です。

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完全な測定ソリューション

TS2500MPIの持つ先進RF、ハイパワー・アクセサリと一緒に使用できます。RF測定用にはマイクロポジショナRFケーブル校正基板TITANRFプロー ブ、ハイパワー測定用に測定器との接続パッケージ、TAIKOウエハのサポート、放電防止用トレイ、LiquidTray 等も用意しています。

またDUTと測定器の距離をできるだけ近くなるような設計を施しています。MPI Rohde & Schwarz社等の測定器メーカと協力し、新しい校正手法を開発し、VNAとのインテグレーションをより完全なものにしています。TS2500-RFは製造工程における複雑なRFデバイスの自動測定に最適です。

Complete Test Solution

違いはソフトウェアから

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIのエンジニアリング用オート・プローブシステムはユニークで革新的な、マルチタッチ・オペレーション型ソフトウェアSENTIO® にて制御します。簡単で直観感的な操作により、トレーニング時間を大幅に削減し、スロクール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで可能になります。RF測定用では別のソフトウェアを起動することなく、MPIRF校正用ソフトウェアQAlibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO®と同じコンセプトを採用しております。

SENTIO®TS2500の場合、さらに、高速ウエハローディング用のワンボタン、カセット、スロット、ウエハオリエンテーションのプリセット、IDリーダが利用できない場合はウエハIDエデイター、ウエハテスト・ステータスに関する詳細なフィードバック、使いやすいウエハ処理機能を提供します。

MPI Prober Control Software Suite SENTIO®
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