TS3500シリーズWaferWallet®付き – 確度+柔軟性+自動化

The WaferWallet^®

このシステムの開発は、非常に正確なIV-CV、1/f、RF、ミリ波およびロードプル測定を数枚のウエハから自動で行いたいというご要求に応えることから始まりました。

MPIのWaferWallet® は測定精度を損なうことなく、TS3500シリーズを自動システムに拡張します。WaferWallet® は150、200または300 mmのウエハを手動で搭載できます。人間工学的なローディングのため５つの個別トレイで設計されており、異なる温度で同一規格のウエハを最大5枚まで全自動テスト可能です。

The WaferWallet^® MAX

MPIのWaferWallet® MAX はフィールドアップグレードが可能で、SEMI規格の150mm、200mm、300mmのカセットでのウエハ・ハンドリングが可能です。自動測定により効率良いデータ収集を実現して、製品の市場投入までの時間を短縮することが可能になります。

WaferWallet® MAX はプリアライナとカセットスキャナの先進的なアライメント技術、表面または裏面のウエハIDリーダ、完全自動露光制御機能を持っており、完全自動測定用のオプションとして活用いただけます。

高温／低温でもウエハ交換が可能に

ウエハのローディングおよびアンローディング中にチャックを常温に戻す必要はなくなりました。WaferWallet® は独自の機能により、チャックをテトス温度のままで、ウエハのロード、ア ン ロ ードを可能にし、測定時間を削減します。

Celadonの Indexer™

Celadonが特許を持つIndexer™は、業界初の最大5枚のプローブカードを自動交換する装置です。 WaferWallet® (最大5枚) または WaferWallet®MAX (最大25枚)との組み合わせにより、先進のデバイスモデリングとウエハレベルでの信頼性測定に優れた柔軟性と自動化を提供します。

• Advanced Cantilever™ 技術を採用したVC20™を最大5台まで、あらゆる種類と構成でサポート可能
• カード交換は数秒で完了
• 完全にプログラム可能でSENTIO®に統合
• TS3500シリーズのオフアクシスPTPA（Probe-To-Pad-Alignment）に対応
• 数十万回のタッチダウン試験済み