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MPI SiPHプローブシステム

TS3000 for Silicon Photonics on Wafer Test

MPITS2000-SETS3000、TS3000-SE、TS3500およびTS3500-SE プローブシステム用にSiPH専用アップグレード・キットを用意しました。これらのキットには以下のものが含まれます

  • 高速スキャン可能な高精度光学アライメント・システムの各種オプション
  • 光電気変換デバイスの様々な測定(O-O/O-E/ E-O/ E- E)に合わせた測定機能
  • ファイバとウエハのコンタクトを検知するZセンス機能
  • 光ファイバ・アームを2つ使用した時の衝突防止機能
  • 広い温度範囲:-40 ~ 200
  • より高い遮光のための暗箱(オプション)
  • 計測ソフトウェアに組み込めるソフトウェア・パッケージ

特長と利点

シリコンフォトニクス・ファイバアライメント・システム

MPISiPHプローブシステムと組み合わせて、ファイバ位置決めステージと関連するソフトウェアを使用できます。プラテンからチャックまでの距離が短くなっているため、短いプローブアームにより、安定度の高く、雑音の少ない測定が可能になります。シングルファイバおバよびファイバアレイ用のソリューションが用意されています。自動Z高さセンシングにより、光ファイバを光I/Oに対して常に数ミクロンの距離以内に保ちます

Silicon Photonics Alignment System Integration

シームレスなプローブステーション統合

ヘキサポッドなどの必要な光学アライメントステージは、SENTIO®プローブシステム制御ソフトウェアで統合できます。追加のアライメント機能を含む自動ポジショーナとして操作できます。また、マルチタッチソフトウェアに統合されているだけでなく、ハードウェアコントロールパネルもSiPHポジショナータイプをサポートします。

Integrated SiPH Control Hardware

組込みハードウェア制御

SiPHコンポーネントシェルフは、すべての位置決め制御ハードウェアを収納しますので、床面積を追加することなく完全に統合可能です。便利なセットアップ操作のために、便利な距離に配置されています。さらに、標準のプローブステーション計測器シェルフを使用して、光学および電気測定機器をすべて収納できます。

SiPH Integrated Measurement Instrumentation

制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIの研究、開発用オート・プローブシステムはマルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® でコントロールします。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に短縮し、スクーロル、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と同様なため、誰でも簡単に操作できます。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで実行できます。SiPHの測定機能を組込むために、MPIでは無料のサンプル・スクリプトを用意しています。

MPI Software Suite SENTIO®
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