MPI SiPHプローブシステム
TS3000 for Silicon Photonics on Wafer Test
TS2000 IFE for SiPH
MPIはTS2000-IFE、TS2000-SE、TS3000、TS3000-SE、TS3500およびTS3500-SE プローブシステム用にSiPH専用アップグレード・キットを用意しました。これらのキットには以下のものが含まれます。
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- 高速スキャン可能な高精度光学アライメント・システムの各種オプション
- 光電気変換デバイスの様々な測定(O-O/O-E/ E-O/ E- E)に合わせた測定機能
- ファイバとウエハのコンタクトを検知するZセンス機能
- 光ファイバ・アームを2つ使用した時の衝突防止機能
- 広い温度範囲:-50℃ ~ 200℃
- より高い遮光のための暗箱(オプション)
- 計測ソフトウェアに組み込めるソフトウェア・パッケージ
特長と利点
MPIのSiPHプローブシステムと組み合わせて、ファイバ位置決めステージと関連するソフトウェアを使用できます。プラテンからチャックまでの距離が短くなっているため、短いプローブアームにより、安定度の高く、雑音の少ない測定が可能になります。シングルファイバおバよびファイバアレイ用のソリューションが用意されています。自動Z高さセンシングにより、光ファイバを光I/Oに対して常に数ミクロンの距離以内に保ちます
ヘキサポッドなどの必要な光学アライメントステージは、SENTIO®プローブシステム制御ソフトウェアで統合できます。追加のアライメント機能を含む自動ポジショーナとして操作できます。また、マルチタッチソフトウェアに統合されているだけでなく、ハードウェアコントロールパネルもSiPHポジショナータイプをサポートします。
制御用ソフトウェアSENTIO®
MPIの研究、開発用オート・プローブシステムはマルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO® でコントロールします。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に短縮し、スクーロル、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と同様なため、誰でも簡単に操作できます。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションヘの移動は指をスイープするだけで実行できます。SiPHの測定機能を組込むために、MPIでは無料のサンプル・スクリプトを用意しています。