MPI SiPHプローブシステム
MPIはTS2000-SE、TS3000、TS3000-SE、TS3500およびTS3500-SE プローブシステム用にSiPH専用アップグレード・キットを用意しました。これらのキットには以下のものが含まれます。
- 高速スキャン可能な高精度光学アライメント・システムの各種オプション
- 光電気変換デバイスの様々な測定(O-O/O-E/ E-O/ E- E)に合わせた測定機能
- ファイバとウエハのコンタクトを検知するZセンス機能
- 光ファイバ・アームを２つ使用した時の衝突防止機能
- 広い温度範囲：-40℃ ~ 200℃
- より高い遮光のための暗箱(オプション）
- 計測ソフトウェアに組み込めるソフトウェア・パッケージ
特長と利点
シリコンフォトニクス・ファイバアライメント・システム
MPIのSiPHプローブシステムと組み合わせて、ファイバ位置決めステージと関連するソフトウェアを使用できます。プラテンからチャックまでの距離が短くなっているため、短いプローブアームにより、安定度の高く、雑音の少ない測定が可能になります。シングルファイバおバよびファイバアレイ用のソリューションが用意されています。自動Z高さセンシングにより、光ファイバを光I/Oに対して常に数ミクロンの距離以内に保ちます
シームレスなプローブステーション統合
ヘキサポッドなどの必要な光学アライメントステージは、SENTIO®プローブシステム制御ソフトウェアで統合できます。追加のアライメント機能を含む自動ポジショーナとして操作できます。また、マルチタッチソフトウェアに統合されているだけでなく、ハードウェアコントロールパネルもSiPHポジショナータイプをサポートします。
組込みハードウェア制御
SiPHコンポーネントシェルフは、すべての位置決め制御ハードウェアを収納しますので、床面積を追加することなく完全に統合可能です。便利なセットアップ操作のために、便利な距離に配置されています。さらに、標準のプローブステーション計測器シェルフを使用して、光学および電気測定機器をすべて収納できます。
制御用ソフトウェアSENTIO®
MPIの研究、開発用オート・プローブシステムはマルチタッチ・オペレーション型ソフトウェア SENTIO
