300 mm 両面ウエハ・プローブシステム

• 温度試験範囲：+35～+150℃
• 300 mmウエハレイアウトに応じた裏面開口のカスタマイズ
• 反りのあるウエハスタックにも対応する強力な真空保持
• 温度変化下でも再現性の高い光プローブアライメント

光学

• 高精度かつ高速な光プローブアライメント
• グレーティングおよびエッジカップリング・デバイスへのファイバーカップリング
• 東西配置のポジショナ構成

電気（多ピン対応）

• 幅4.5インチの角型および丸形プローブカードに対応
• 最大10,000ピンの垂直プローブカード（オプション）
• 多様なDCおよびRF用マイクロポジショナ

RFおよびミリ波分野のマーケットリーダーとして、MPIは最大250 GHzまでの高精度高周波測定を可能にします。

完全統合型のハードウェアコントロールパネルにより、迅速かつ正確なシステム設定・操作が可能です。キーボードとマウスは操作しやすい位置に配置されており、Windows 11ベースの計測機器の制御を容易にします。前面にはUSBポートがあり、データのやり取りも簡単に行えます。