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ウエハーレベル信頼性テスト(WLR)

ウエハーレベル信頼性テスト(WLR)

MPIの定義

デバイスの信頼性は、デバイスの電気的仕様を規定された時間、規定された条件、規定された信頼性レベルの下で満足する事を意味します。ICの設計が完了し最初のウェハーができあがるとウェハーレベルでの信頼性試験(WLR)において性能の検証が行われ、その結果を新しいIC設計に反映し、IC設計を促進することができます。信頼性測定の例:

  • デバイスの信頼性:HCI、NBTI、PBTI など
  • 絶縁酸化膜の耐性:TDDB、V-Ramp、HV-GOI など
  • 配線の信頼性:EM、ILD、TDDB など

ウェハレベル信頼性| WLRプロービング

主な必要性能

WLRにおいてのプロービングの課題として、一般的なストレステストと相反して、高いスループット、高い柔軟性、長時間測定、時には非常に高温での測定が要求されることがあげられます。

MPIのソリューション

MPI 300°C PRIME™温度チャック 全温度範囲で優れた平坦性を提供し、マルチサイト試験に比類のない性能を提供します。 生産性を向上させるために、複数の温度での短期信頼性試験において、チャックのより速い移行時間が望ましい要因です。

チャック、温度コントローラ、チラーで構成される温度コントロール・システムの信頼性、プローバー(TS150, TS200, TS300)の長時間安定度が信頼性測定では必須です。

Celadon Systemsの高性能プローブカードとMPIの統合 自動プローブシステム高密度、マルチサイト、高温のウェーハレベルの信頼性試験を容易かつ汎用性のあるものにします。

MPIの WaferWallet™ を搭載することにより測定性能を損なうことなく TS3500-SE 測定を自動化できます。操作しやすい高さに設計されている 5つの個別ウエハー・トレイでは150、200または 300mmのウエハーのハンドリングが可能で、WLR用途でのフルオート測定を可能にします。

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