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Automatic Probe System | Probing System

プローブシステム|マウサー 自動プローブステーション

自動ウエハプローバ|マウサー プローブステーション

MPI オート・プローバー

主なアプリケーション用途

MPIの200/300mm用オート・プローバーは、 デバイス特性評価 モデリング、プロセス開発、 故障解析, 設計検証, IC設計, WLR評価 MEMS、 ハイパワーデバイス対応, 高周波/ミリ波特性評価 などのアプリケーションのデバイス測定に適しております。

信頼性の高いシステム

AST部門のプローバーは弊社別部門で1万台以上の納入実績のある 光デバイス測定システム プローバーと同じ制御用コントローラを使用しております。終夜運転の実績のある本部門の信頼性のあるコントローラを研究開発のプローバにも導入することにより信頼性の高い測定を保証します。

製品概要

TS2000、TS3000オート・プローバーは、常温から300°Cまでのチャックを搭載することができます。

TS2000-SE、TS3000-SEはさらに-60~300°Cまでの温度範囲に対応しており、TS2000-SEは、ウェハー・ローダーを搭載し、すべての温度範囲において測定オートメーションを可能にします。

型式の「SE」はMPIの高性能環境チャンバーShielDEnvironment™技術の略称で高性能なEMIシールド、遮光環境により、超低ノイズ測定を実現します。

MPI オート・プローバー

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