オートフォーカス技術を搭載し、常に鮮明な画像を取得することで、検査速度と精度を向上させます。

自動学習機能（Auto-Train Teaching）により検査パラメータを最適化し、誤検出・見逃しリスクを軽減します。

高透過性の照明により、ウェーハ内部の微細なクラックや欠陥を非破壊で検出可能です。

表裏面を同時に検査することで、搬送回数を削減し、検査効率および製品品質を向上させます。これにより、生産プロセス全体の自動化レベルを最適化します。

標準構成として 2 台の高性能分散処理用コンピュータを搭載しており、必要に応じて計算リソースの追加が可能です。高負荷な検査タスクにも迅速に対応し、処理効率を大幅に向上させます。

AI ベースの欠陥識別により、検査結果の自動レビューおよびインテリジェントな補正が可能となり、人手による作業コストを削減します。

表裏面や異なる倍率での検査結果を自動的に統合し、一貫性のあるレポートを生成。作業の簡素化と人的エラーの抑制に貢献します。