VEGA シリーズ

VEGA上面プローバ (TP) シリーズ主な特徴

• 極端な温度テスト機能 (-40˚C~+200˚C)。
• 高性能ローダシステムは、薄ウェハー、反りウェハー、通常ウェハー、基板、パッケージまたはその他のデバイスなど、様々なデバイスタイプを簡単に対応できます。
• LIV、近傍界、遠方界の光学特性を測定するニーズを満たすために、複数の光学機能の選択を用意します。
• 選択可能な接点機構には、プローブカードホルダ(PCH)、ウェッジプローブカード(Wedge Probe Card)および MPI F1シングルプローブモジュールなどが含まれています。
• MPIプローバ制御ソフトウェアは、基本的なウェハーアライメント、マッピング、プローブマークの検査から、MPI の高度技術であるNeedle Alignment Mechanism (NAM)まで、包括的な制御機能を提供します。
• MPIフォトニクス・テストシステムは、ユーザー中心の設計を採用しており、お客様の独自のテスト要件に従って柔軟に調整できます。

柔軟性：複数のテストニーズを満たせるよう、ユーザーは実行中の製品とテストに応じて、柔軟にワークフローを選択または変更したり、パラメータを編集したりできます。
生産管理：直感的で使いやすいソフトウェアインターフェイスを介して、ラボ/生産データを簡単に管理できます。また、統合されたリアルタイムのシステム監視とレポートにより、スムーズで完全に無人のテストプロセスも可能になります。
シームレスな統合：多様なテスト・測定装置を完備しています。更に、MPI テストシステムは主流のサードパーティの測定装置と簡単に接続し、お客様のそれぞれのテストニーズを満たすことができます。