2009年よりMPIのPA部門は自動光学検査(AOI)装置の製造を始め、プローバーおよびソーターのソリューションを提供して参ました。堅牢なテーブル、正確な視覚システム、画像解析アルゴリズム、革新的な光源によりLEDAブランドのAOIシリーズはGaAs,GaN、縦型デバイスの高速で正確な検査を実現します。

 

LEDチップのプロセスでは、LEDAのAOIシステムはプロービング/ソーティングの後に欠陥解析を行います。システムは単にチップ割やエクステンション欠陥を検出するのではなく、フィンガー損傷、アクティブ領域ピーリング、パッド汚染、メサ・タッチ等のより重大な欠陥も検出可能です。これらのシステムはローダと組みあわせて使用でき、高いスループットそして汎用性に富む製造マネージメントを実現します。