EVS プローブカード

EVS プローブカードは従来のバックリングビームプローブカードに比べて進化した製品です。主な特徴は高い電流運搬能力 (C.C.C.) とより低いバランス接触力 (BCF) を持ち、総合的な MEMS の特性を備えています。EVS は先進的なウエハプロービングの要件を容易に満たすことができます。精密なアライメントと優れた平面度制御は、安定した接触抵抗に貢献する重要な要素です。その性能と能力により、EVS プローブカードは先進的なプローブカードの理想的な選択肢となります。

 

EVS の主な特徴

 

• MEMS のような特性
• フラットタイプ先端とポイントタイプ先端の両方の構成で利用可能
• DUT により小さなプローブマークを残す
• ピッチが 80μm 以上に最適
• 従来のバックリングビームに比べてプロービング力 が 50％ 低減
• 従来のバックリングビームに比べてC.C.C.が 40％ 向上
• より長いプローブ先端の長さによる長寿命化
• MPI 社製基板との互換性があります