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200 mmウェーハプロービング| プローブステーション

プローブシステム|マウサー 200 mmウェーハプロービング

Wafer Probers | 150mm Probing System

MPI TS150-AIT、TS200-THZ マニュアル・プローバー

MPI TS150-AIT、TS200-THZ マニュアル・プローバー

TS150-AITおよびTS200-THZプローブシステム

5G次世代移動通信システム、人工衛星、非侵襲性分光分析法、セキュリティー・監視システム、医療機器、車載用近距離レーダーなど、プローバーにアクティブ・インピーダンス・チューナーを搭載するTHzアプリケーションの需要は大きく拡大しております。それにより信頼性と再現性の高い測定データがこれまで以上に重要となってきております。TS150-AITおよびTS200-THZマニュアル・プローバーはこのようなチューナーを使ったミリ波帯、サブテラヘルツ帯の測定に特化して設計されたプローバーになります。

  • 1.5THz帯まで幅広い周波数帯の計測器の周波数エクステンダ、インピーダンス・チューナーとプローバーのシームレスな統合を実現
  • 周波数エクステンダ、チューナーを使った測定を最大限に引き出す設計
  • 械的剛性、安定性を持ち合わせ、安全で簡単な操作性

特長と利点

ウェーハチャックエアベアリングステージ| ウェーハチャック| サーマルチャック| コールドチャック

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エア・ベアリング ステージ

MPI独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm)をすることを可能にしました。

手動プローブシステム| 200mmプローブシステム| 200mm手動プローブステーション| ウエハープローバー

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独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。

さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ(50/100/150μm)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

手動プローブシステム| ウェハプローブシステム| ウェーハプローバ| ウェーハチャック| 150mmプローバー

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チャックZ軸調整機構

TS150-THzには10mm高精細Z軸調整機構をもつことにより、異なる周波数帯のローデ・シュワルツ社、VDI社、OML社の各種周波数エクステンダを搭載することが可能です。一台のプローバーでさまざまな周波数帯での測定をする際、セットアップを容易に素早くすることができます。

マイクロポジショナー| RF測定| DCバイアス

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ポジショナ・オプション

剛性のある専用プローブ・プラテンには、東西にMP80ボルト式ラージ・エリア・ポジショナを配置することができます。また南北のブリッジをつけることにより、4ポート測定やバイアス信号を印加するためのDCポジショナを設置することも可能です。

マイクロポジショナー| RF較正| プローバーステーション| ウェーハプローバ| ウェーハプロービングステーション| 半導体ウエハー・プロービング

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MP80-DX

MP80-DXポジショナは1um(ΔL)の高分解能を持ち、ミリ波・THz帯の校正手法であるマルチ・ラインTRL測定をより確実なものとします。校正については MPI QAlibria®校正用ソフトウェアのページをご参照ください。

チャック・オプション
チャック・オプション

FBHの提供

チャック・オプション

お客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

  • BNCコネクタ付標準RFチャック
  • ミリ波専用チャック(高―熱伝導性(>180 W/Km)セラミックチャックを採用)
  • ERS製RF温度チャック(空冷、20~200℃、小径吸引孔付金メッキトップ・プレート)

※すべてのチャック・オプションには校正基板、クリーニング基板用の補助チャック2台が搭載されております。

各種オプティクスオプション| ウェーハチャック| サーマルチャック| コールドチャック| 半導体ウエハチャック

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顕微鏡オプション

顕微鏡のラインアップとして、 MPI 顕微鏡 SZ10 単眼鏡筒 顕微鏡、EZ12実体顕微鏡、WD 12mm・45倍光学ズームのMegaZoom MZ12顕微鏡をご用意しております。ミリ波帯、サブテラヘルツ帯域の測定では周波数エクステンダ設置による物理的制限があるため、顕微鏡を含めDUTまでの距離が重要となってまいります。

手動プローブシステム| 200mmプローブステーション| 200mm手動プローブシステム| 200mmウェーハプロービングステーション

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周波数エクステンダのインテグレーション

TS200-THZでは周波数エクステンダ搭載を考えて、まったく新しいデザインを採用しました。DUTまでの距離を最小限に、測定指向性を最大限に実現するためにウェハーの上を覆ってしまう斬新なコンセプトを取り入れました。また簡単に素早くセットアップ環境を変えることも可能にしました。

周波数帯の異なる測定系に変更する際のプローブや測定物の破損防止機構を取り入れました。

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