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マニュアルウエハプローバ| プローブステーション

MPI TS150 / TS200 / TS300 マニュアル・プローバー

MPI TS150 / TS200 / TS300 マニュアル・プローバー

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MPI TS150、TS200、TS300マニュアル・プローバーはウェハーサイズ マニュアル・プローバーは 日常の測定を簡便にするさまざまな機能を採用しています。 非常に直感的でかつ簡単、便利 高精度な測定へとつながります。

特長と利点

150mmプローブステーション - プローブシステム - ウェハプローブステーション

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エア・ベアリング ステージ

MPI独自の エア・ベアリング ステージ により片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm) をすることを可能にしました。

MPIユニークプラテンリフト プローブシステム プローブステーション 200mmプローブステーション|マウサー ウェハプローブステーション 手動プローブシステム

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独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™

測定精度はコンタクト精度に依存します。 再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の3つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。これらの機能は高周波測定およびハイパワー測定時に大変重要で、正確で安定な測定を保証いたします。

TS200およびTS300にはさらにホーバ高さ(50または100um)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

ユニークなチャックZコントロール| ウェーハチャック| サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| ホットチャック

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高さ調整用スケール

プローブ・プラテンは25mmの高さ微調整が可能です。1mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。

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コンパクトで堅牢なプラテン設計

コンパクトでかつ堅牢なプラテンにはDCポジショナ最大10台またはRF ポジショナー 4台まで搭載可能で、さまざまなアプリケーションに対応しております。

様々なチャックオプション| ウェーハチャック| サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| 半導体ウエハチャック

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チャック・オプション

お客様のさまざまな要求仕様およびご予算によりチャック・オプションをご用意しております。ラインアップにはMPI製同軸チャックおよびトライアキシャル・ チャック (同軸10kV、トライアキシャル3kV)もしくはERS社製 温度チャックs をご用意しております。写真はサーマル・タッチ・コントローラを示ており、温度設定が簡単に行えます。

補助チャック| ウェーハチャック| サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| 半導体ウエハチャック| RFチャック| アンビエントチャック

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補助チャック

RFチャックには正確なRF校正に必須なXNUMXつのセラミック製補助チャックを搭載しております。

高周波用高倍率顕微鏡

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顕微鏡および顕微鏡保持機構

DC/CV測定には実体顕微鏡を、RF測定、ロードプルなどの測定には単眼鏡筒高倍率ズーム顕微鏡など、多数取りそろえております。

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顕微鏡チルト機構

上方90度へ空気圧で簡単に操作できる顕微鏡チルト機構はプローブのセットアップ、交換を容易にします。

プローブ接触パッド| プローブシステム| 手動プローブシステム| マニュアルプローブステーション| 150mmプローブステーション

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防振プラットフォーム

すべてのマニュアル・プローバーは防振プラットフォームを搭載しております。これにより安定した信頼性の高いプロービングを可能とし、より正確な測定結果が得られます。さらに高い防振レベルを必要とする測定の場合、防振機構付きプローバまたは防振台はオプションお選びいただけます。

超低ノイズDC測定のためのEMI遮蔽された軽いテスト環境。

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暗箱

超低ノイズDC測定などには暗箱にプローバーを設置していただくことによりEMIシールド、遮光環境を実現します。

MPI TS150、TS200、TS300マニュアル・プローバーはウェハーサイズ 150、200および300mmまでの基板およびウェーハの高精度な評価測定用に設計されており、費用効果の高いマニュアル・プローバーとなっております。 故障解析, 設計検証およびIC設計, WLR評価、MEMS、 ハイパワーデバイス対応デバイス特性評価、モデリング.

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