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TS2000-HP 最上位ハイパワー・ソリューション

TS2000-HP 最上位ハイパワー・ソリューション

300mm自動プローブステーション

MPI TS2000-HPオート・プローバーは、高性能ShielDEnvironment™チャンバーを搭載することにより、低ノイズ、シールド環境を可能にし、オンウェハー・ハイパワー・デバイスを広い温度範囲で3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)、600A(パルス)までの測定を実現します。

特長と利点

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安全対策

高電圧測定中の安全対策としてインターロック制御されたライト・カーテンにより、オペレータが誤ってプローバーに侵入した場合に機械を安全に停止させることができます。

プローバーの背面ドアにもインターロックが搭載されており、測定セットアップを簡単に行うことができます。

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ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

TS2000-HPプラテンは、チャックとプラテン間のアーキングを防ぐため、ArcShield™技術を使用しております。

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高電圧プローブ(HVP)

MPIの高電圧プローブは低リークで10kV(同軸)、3kV(トライアキシャル)までの測定が可能です。接続コネクタにはキーサイト社Triax/UHVコネクタ、ケースレー社Triax/UHVコネクト、SHV、バナナコネクタなどさまざまなオプションよりお選びいただくことが可能です。

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大電流プローブ(HCP)

MPIの大電流プローブはオンウェハー大電流測定のために最高200A(パルス)まで測定可能です。マルチ・フィンガー大電流プローブは大電流および低接触抵抗を実現するために針とプローブ本体が一体化されています。

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アーキング対策用LiquidTray™ (オプション)

アーキング対策として設計されたフロリナートトレーLiquidTray™はチャックに載せることによりアーキングを抑えることができます。ウェハーはトレー内に保持されアーキングフリーな高電圧測定を実現します。

ウェーハチャック| ウェーハローダの自動化|サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| 半導体ウエハチャック| RFチャック| アンビエントチャック

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高/低温時のウェハー交換が可能に

安全設計されたシングル・ウェハー・ローダーによりどの温度でもウェハーをロード/アンロードすることが可能となりました。常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。必要な設定は管理者権限のログインにより保護されます。

MPI TS2000-HPは、温度チャック、STM(Safety Test Management™)機能、シングル・ウェハー・ローダー、防振機構、制御系統の集約など TS2000-SE システム。

違いはソフトウェアから

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制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIオート・プローバーは画期的なマルチ・タッチ式 SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。

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