RFプローブステーション RFプローブシステム | ウェーハプローバメーカー | 低リークプローブ| ハイパワープローブ| ウェーハプローバメーカー

TS2500シリーズ - 製造テスト用フルオートプローバー

TS2500シリーズ - 製造テスト用フルオートプローバー

TS2500-RF 300mm自動プローブステーション

MPIは過去2年間に12台以上の新製品を送り出すなど対象市場においてイノベーション・リーダーとなりました。

最新の製品リリースがRFプロダクション・テスト用のフルオート・プローバーです。MPIのさまざまなシステム・アクセサリに対応すると共に製造工程にて高性能な RF 測定を可能にしました。

特長と利点

RFプローブステーション RFマイクロ波プロービング| RFプローブステーション プローブステーション測定 RFマイクロポジショナー

クリックすると拡大します

薄ウェハーハンドリング

MPIの常温および温度(ERSAirCool®)サーマルチャックは、20°Cから300°Cまでの幅広い温度範囲をサポートします。

TS2500-RFの独自なチャック及びリフト・ピンによりⅢ‐Ⅴ族の化合物ウェハーの課題でもある50μmまでの薄ウェハーを安全にハンドリングすることが可能です。RFチャックに加え校正基板やクリーニング用基板を載せるためのXNUMX台のセラミック材質の補助チャックが搭載され、高精度なRFキャリブレーションを実現できます。温度チャックも用意しております。

HPチャックは低い接触抵抗と金メッキされたチャックトップで完全にアセンブリされた状態で製造されており、70 µmまでの薄いウェハーを保持することができます。Taikoウェハーなどの測定にはハイパワー用チャックに構成を変更することも可能です。

クリックすると拡大します

高いスループット

デュアル・エンドエフェクタおよびデュアル・ウェハー・カセットの採用により150/200mmウェハーの高速交換を実現します。TS2500-RFは最速毎秒10ダイ(システム構成により異なります)測定が可能で、製造工程におけるディスクリートRFデバイスおよびICの電気特性試験における最適なプローバーになります。

クリックすると拡大します

高性能アライメント

T2500-RFプローバーはチャックに搭載されているアッパールッキングカメラにより高精度なアライメントが可能になり、複雑なRF測定を可能となります。 MPIのPhotonics Automation部門 のこれまでの経験により確かな結果が保証されます。

クリックすると拡大します

高電圧 大電流 超ハイパワー用プローブ

MPIのハイパワープロービングソリューションには、低接触抵抗を実現するMPI独自のマルチコンタクトチップを採用した大電流プローブ、

最大3kV(トライアキシャル)または5kV/10kV(同軸)までの低リーク電流測定が可能な高電圧プローブ、

また超ハイパワー用プローブは、最大10kV / 600Aまでの超高出力デバイスのオンウェハー測定を実現します。

クリックすると拡大します

完全なソリューション

TSXNUMX-RFはMPIのポジショナ、RFケーブル、校正基板、TITAN™RFプローブと組み合わせてお使いいただくことができ、高精度なRF測定が可能となります。またハイパワー用途としてご使用いただく場合、測定器との接続パッケージ、Taikoウェハーサポート、アーキング防止用フロリナートトレイ(LiquidTray™)などのアクセサリにより安全で高精度なソリューションを提供します。

DUTと計測器をもっとも近くなるよう設計するとともに、MPIは Rohde & Schwarz社と協力し、さらに新しい校正手法を開発し、VNAとのインテグレーションをさらに完全にしました。TS2500-RFは製造工程における複雑なRF測定を実現します。

製品メニュー 閉じる