サーマルチャック ホットチャック 手動プローブステーション ウェーハプロービングステーション マイクロポジショナ ウェハプローブ 手動プローブシステム

手動プローブステーション 手動プローブステーション ICホルダー 大電流プローブ プローブシステム マイクロポジショナ 手動プローブシステム

MPI TS50 - 大学用マニュアル・プローバ

MPI TS50 - 大学用マニュアル・プローバ

MPI TS50手動プローブステーション

MPI TS50マニュアル・プローバーはIC設計、シングル・チップでのDC/CVおよびRFプロービングに適した研究開発用プローバーです。場所をとらないコンパクト設計(50mm×300mm)で、測定までのセットアップは非常に簡単な上、機能性、性能にすぐれております。

特長と利点

チャックステージ制御| ウェーハチャック| サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| アンビエントチャック| 薄型ウェハの取り扱い

クリックすると拡大します

Easy Stage

MPI TS50 には2種類のチャックステージをご用意しております。 Easy Stageは 真空吸着型ステージで,片手で操作できるため、X/Y, シータ操作が容易にできます。写真は簡単なDC/CV測定に適した機種となります。

リニア50x50mm XYステージ| シングルダイプロービング| 手動プローブステーション

クリックすると拡大します

50mm×50mm リニアXYステージ

XYステージは独立したXYリニア機構(50x50mm)となっており、さらに微細なX/Y/Θマイクロメータ機構(25mm×25mm)により微調整が可能です。RF測定や温度チャック搭載時には必須のオプションとなります。

20 mm高さ調整機構

クリックすると拡大します

20 mm高さ調整機構

プローブ・プラテンは20mmの高さ調整機構がついており、すべてのアプリケーションに使用可能です。すべてのポジショナでコンタクト/セパレーション操作が可能です。

3軸チャック - ホットチャック - ウェハチャック

クリックすると拡大します

トライアキシャルチャック

RF測定用に設計されたTS50の50mm トライアキシャル・チャックには正確なRFキャリブレーションを実現するための校正基板、クリーニング基板を載せるためのセラミック補助チャックが搭載されております。

ポジショナー

クリックすると拡大します

ポジショナ用調整機構

RFプローブのアライメントを容易にするためポジショナの直角調整機構を標準で搭載しております。

ポジショナー

クリックすると拡大します

ポジショナ・オプション

MPI MP25ポジショナは最大8台、MP40ポジショナは最大6台までのが搭載可能で、マルチ・パッドおよびマルチ・デバイスのレイアウトに対応します。

手動プローブシステム| ウェーハチャックオプション| サーマルチャック

クリックすると拡大します

顕微鏡オプション

DC/CV測定には実体顕微鏡を、RF測定、ロードプルなどの測定には単眼鏡筒高倍率ズーム顕微鏡など、多数取りそろえております。

手動プローブステーション -  ICホルダ

クリックすると拡大します

チップホルダー

オプションのチップ・ホルダを使用することにより最小1mm角のチップの測定が可能です。また簡便なバキューム・スイッチにより 10mm角までのチップを安全に固定することができます。校正基板を載せるための補助チャックと同じ高さに設計されているためRF測定にも使用でき、チップ・ホルダオプションは高温チャックを含むどのチャックにも搭載可能となっております。

製品メニュー 閉じる