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MPI TS3000-SE 300mmシールド付オート・プローバー

MPI TS3000-SE 300mmシールド付オート・プローバー

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TS3000-SEはTS3000にShielDEnvironment™を搭載した上位機種で、超低ノイズ、高精度で高い信頼性のDC/CV、RTSおよびRF測定を実現し、 デバイス特性評価, WLR評価RF&mmW デバイス評価、WLR、RF/ミリ波測定などのアプリケーションに適した300mmセミオート・プローバーです。

業界唯一の能動的冷却プラテンは-60~300°Cの広い温度範囲で高い機械的安定性を持ち、TS3000-SEはさまざまな温度範囲でデバイスを測定できる最適なプローバです。

特長と利点

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ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

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ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF4ポートまたはDC/ケルビンポートを8ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

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Probe Hover Control™

MPI のPHC™は手動でプローブのウェハーへのコンタクトとセパレーションを容易にします。マイクロメータにより高精度にプローブからウェハー/パッドへのコンタクトを微調整することができます。操作が簡単なため、オペレータによる操作ミスを最小限にして、測定系の変更およびプローブの変更を安全に行えます。

RFキャリブレーション| プローブカードクリーニング| 150 mmウェーハ| 200 mmウェハ| 300 mmウェーハ| ウェーハプロービング

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簡単なウェハーローディング

広い前面ドアと独自のチャック設計によりウェハーのロード・アンロード機能は非常に使いやすく、150/200/300mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや4mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック2台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

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ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルはMPI社の何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全にかつ簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。 キーボードとマウスはソフトウェアを必要な時に操作するためとWindows® ベースの測定器の操作に使用します。

300mmウェーハチャック| サーマルチャック| アンビエントチャック| ウェーハチャック| ホットチャック| コールドチャック| RFチャック

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温度チャック

チラーのプローバーとの統合によりTS3000シリーズは省スペースな設計となっており、狭い実験室などでも使用できます。

MPIとERS社が共同設計した 新しい300mm温度チャックPRIME™チャックシリーズ技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

PRIME™チャックには温度遷移時間が短い、優れた電気特性、不活性ガス環境、フィールドにてアップグレード可能など選定いただくための多くの利点があります。

温度制御はプローバー前面に統合されているタッチスクリーンにて行い、オペレーターがすぐに測定に反映させることが可能です。

プローブカード| マイクロポジショナー| ウェーハチャック| ウェーハプローブ| ウェーハプロービング| 失敗分析| 設計検証

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ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

半導体試験装置| 薄型ウェハの取り扱い| ホットチャック| ウェーハチャック| 半導体ウエハの取り扱い| 300mmウェハハンドリング| 半導体ATE

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STM™(Safety Test Management)システム

独自のSTMシステムにより測定中はすべてのドアーが開かないようになっていますので測定したデータは安全です。特に低温測定中はドアをいっさい開くことはできません。露点コントロール機能により低温での測定が安定に実施できます。STM™により自動でCDAあるいは窒素の流量を監視し、流量不足や流れが止まるなどの問題が起こった場合、自動的にチャックをセーフモードに切り替え、チャック温度をなるべく早く露点温度より高く設定します。STM™システムにより測定環境が守られ、安全で、より信頼性の高い測定が可能になります。

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計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することにより、ケーブル長を短くし、RF/ミリ波測定をより確実なものにします。

違いはソフトウェアから

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制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIオート・プローバーは画期的なマルチ・タッチ式 SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。

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