MPI顕微鏡

iMAG®デジタル顕微鏡

 

MPI iMAG®シリーズは高分解能デジタル顕微鏡で、MPIのマニュアルおよびオート・プローブシステム用に開発されたものです。優れた色分解能と早いフレームレートによりウエハ・ナビゲーションを容易に実現します。

1.1インチ、6.55MP撮像素子の搭載によりエッジシャドウ効果を抑え、光学的に可能な限り広いFOV （実視野）を実現しました。iMAG®-IIは12MPの高解像度顕微鏡で優れた画像分解能を提供します。

iMAG®はプローブシステム制御用ソフトウェアSENTIO® と一体化しており、自動化された機能（フォーカス、ウエハ・アライメント、インデックス認識、ウエハ・マップ作成、ラテラル・ダイ補正、Z方向のオンザフライ補正）に加え、自由に定義されたFOV位置で、ポイント・アンド・シュート、フリック、パン、デジタルズームなどさまざまなマルチタッチ機能が使用いただけます。

シングル・チューブ型顕微鏡

 

MPIのSuper Zoom™ SZ10、MegaZoom™ MZ12シングル・チューブ型顕微鏡を使用することにより、長い作動距離で、高倍率が実現できます。設置スペースが小さいことにより、RF、ミリ波、ロードプルといったアプリケーションで、計測器のテストヘッド、チューナなどを搭載する場合でも、DUTとの距離が短くできるメリットがあります。自動化されたMegaZoom™ AMZ 12シングル・チューブ型顕微鏡はMPIのオート・プローブシステム、フルオート・プローブシステムには最適な一台で、SENTIO®span>制御用ソフトウェアと連動してズーム機能を自動化できます。

三眼鏡筒顕微鏡

 

MPI独自のEyeZoom™ EZ10顕微鏡は人間工学に基づき設計された三眼 実体顕微鏡となり、10倍の光学ズームにより2μmレベルまでの高分解能な上、90mmの作動距離があるため、ストレスなくRFプローブやケーブルの交換を行うことができます。オプションのリングライト照明の追加により、材質の違う評価物や校正基板、ウェハパッドの視認性がさらに向上し、RF、ミリ波、ロードプル測定において最適な一台となります。

高倍率顕微鏡

 

MPIのプローブシステムは、故障解析、インターナル・ノードのプロービングに必要とされる高倍率顕微鏡にも対応しております。Motic製PSM -1000、ミツトヨ製F570などの顕微鏡も搭載可能です。