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WaferWallet™搭載でTS3500シリーズは高精度かつオートメーション化を実現

WaferWallet™搭載でTS3500シリーズは高精度かつオートメーション化を実現

MPI TS3000-SE 300mmシールド付オート・プローバー

TS3500およびTS3500-SE はMPIの TS3000 TS3000-SE と同等の仕様で、WaferWallet™オプションを搭載することにより、300mmフルオート・プローバーとしてご使用いただけます。MPIは他社のセミオート製品より安い価格でフルオート機能を提供でき、お客様のテストコストに貢献します。

特長と利点

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WaferWallet™

モデリングおよび新技術開発プロセスにおけるデバイス特性評価の一般的な方法は、極めて正確なIV-CV、1 / f、RF、mmW、およびロードプル測定を介して典型的な数枚のウェーハからデータを抽出することです。

MPIのウェーハウォレット 測定機能を損なうことなくTS3500シリーズのオートメーションを拡張します。 WaferWallet 150、200、または300 mmの "モデリング"ウェーハのマニュアル、人間工学的なローディングのための5つの個別トレイで設計されています。 異なる温度で5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能になりました。

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高温/低温でもウェハー交換が可能に

ウェーハのローディングおよびアンローディング中にチャックを周囲に戻す必要はなくなりました。 WaferWalletでMPIは、チャックが任意のテスト温度のままである間、ウェーハのロード/アンロードの独自の機能によって貴重な時間を節約します。

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テストの自動化

ノッチインジケータによるトレー内でのウェハーアライメント機能はウェハーのロード速度と信頼性を向上させます。またお客様の必要とされる自動化のレベルに応じて、TS3500-SEにはプレアライナー、IDリーダー、PTPAのオプションを用意しております

違いはソフトウェアから

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SENTIO® ダッシュボード

MPIの SENTIO® 3.0 制御用ソフトウェア 先進的なGUIデザインとなっております。

  • マルチタッチ、簡単で直感的な操作性
  • スマートデバイスのように一つのウィンドウにて操作可能
  • ダッシュボードにより簡単にナビゲーションが可能
  • 次の操作が予測可能な合理的な操作
  • プローブステーションの寿命を延ばすための無料アップグレード

WaferWalletのグラフィカルな画面により、ウェハーがロードされているか空なのか、ウェハーサイズ(150/200/300mm)、オリフラやノッチの向き、ウェハーID(あれば)、ウェハー・マップ上の測定完了率などが、一目で分かるように視覚化されています。

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