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高周波/ミリ波特性評価

高周波/ミリ波特性評価

MPIの定義

オン・ウェハーでのRF/ミリ波特性評価はRF、マイクロ波のIC開発、設計デバッグ、モデリングの重要な測定となります。

オン・ウェハーでのRF測定には VNA、 周波数エクステンダ、 インピーダンス・チューナー、カプラー、バイアス・ティなど、測定のための設定条件が複雑なので、MPIではアプリケーション毎に、より測定精度があがるよう努力しています。

オン・ウェハーでのRF/ミリ波特性評価はRF、マイクロ波のIC開発、設計デバッグ、モデリングの重要な測定となります。

オン・ウェハーでのRF測定には VNA、 周波数エクステンダ、 インピーダンス・チューナー、カプラー、バイアス・ティなど、測定のための設定条件が複雑なので、MPIではアプリケーション毎に、より測定精度があがるよう努力しています。

主な必要性能

小信号、大信号、Sパラメータ、ロードプル、インピーダンス・マッチングなどのRFパワー、RFノイズ特性評価は測定装置自体の機械的安定性、信号経路の短さ、測定指向性、 様々なDUTパッドメタライゼーションタイプおよび時間の経過とともに、DUT端子までの正確なシステムRF較正が可能になります。

MPIのソリューション

剛性の高いMPI 研究開発用プローバー はRF/ミリ波測定に最適な研究開発用プローバーになります。設置面積が小さいことにより、RFパワー、RFノイズなどの計測器とのインテグレーションに最適です。また高精度でバックラッシュが少ないRF ポジショナー により非常に正確なプロービングが可能となります。

THz帯専用機の TS150-THZ、ミリ波測定用ポジショナであるMP80およびMPI独自の単眼鏡筒顕微鏡のSZ10/MZ12と作動距離の長い対物レンズとの組み合わせにより、ミリ波やサブミリ波用測定器の周波数エクステンダとDUTの距離を最短にし、信号経路を短くできます。測定指向性及び測定精度の高い測定を実現します。 顕微鏡

MPI TITAN™RFプローブは 独自のデザインとMEMS技術で開発したチップにより 視認性が非常に高く, コンタクトが難しいとされるアルミパッドにおいても低接触抵抗で高いコンタクト再現性を実現します。.

QAlibria® キャリブレーション・ソフトウェアおよび RF校正基板 は業界標準の校正手法、計量学レベルの校正リューションを実現します。

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