故障解析PPT ATE | プローブステーション| mmW特性| 電気的障害の確認| ICデザイン検証 プローブステーション

故障解析(FA)

故障解析(FA)

MPIの定義

半導体製造および設計ハウスにとって市場に出ている部品や製品の故障の根本的な原因を見つけることは必要不可欠なものです。

主な必要性能

故障解析には以下なようなステップがあります:

  • オープン/ショートもしくはリーケージの確認による電気的および機能的不良の検証
  • ホット・スポット、エミッション解析、レーザーカッティング等による、サブミクロンレベルまでの内部ノードのプロービングによる故障個所の特定
  • サブミクロンレベルのプロービングまたはSEM、TEM、EDX、AFMなどのツールを使っての物理的故障個所の解析
  • ウェハーレベルでの、特にMEMSデバイスのマイクロモーション解析
  • ハイパワーデバイスにおいての10kVテスト環境での故障解析

故障解析

MPIのソリューション

MPIの故障解析用プローバーは高精度な測定結果を短時間に導き出すための必要条件を備えております。剛性の高い 研究開発用プローバー および、非常に精度の高い ポジショナー により電気的な不良解析、不良個所の特定、デバッグに最適なソリューションを提供します。防振機能を備えた環境、高倍率の顕微鏡により1ミクロンまでのプロービングを可能にします。

MPI TS2000-SE TS200-SEは遮光・EMIシールドのテスト環境を実現し、温度制御(-60℃まで可能)されたチャンバー内での小信号のプロービングを可能にし、プローブ・カードおよびポジショナ同時使用に対応しており、故障解析に最適なシステムです。MPIはこの他さまざまな故障解析ツールを用意しております。

MPI 研究開発用プローバー は浜松ホトニクス社などのエミッション顕微鏡を簡単に搭載することもでき、 ICの不良個所の解析および特定に貢献します。さらに10kV/600Aまでのハイパワーデバイスの故障解析には TS150 / TS200-HP が最適なプローバーとなります。 ハイパワーデバイス対応

製品メニュー 閉じる