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MPI 顕微鏡

MPI 顕微鏡

光学顕微鏡プローブ

MPIは顕微鏡製造メーカーと協力し、プローバーと測定に最適な顕微鏡を製造可能となりました。これにより最先端のウェハーのナビゲーション機能と視認性を実現しました。DC/CV、RF/ミリ波のアプリケーションなど測定のご用途に合わせた最適な一台をご選択いただけます。詳細については「顕微鏡 製品概要」をご参照ください。

特長と利点

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iMAG® デジタル顕微鏡

MPI iMAG® は高分解能デジタル顕微鏡で、すぐれた色分解能と早いフレームレートによりウェハー・ナビゲーションを非常に容易にします。

1.1インチ、6.55MP二次センサの搭載によりエッジ効果、影効果を抑え、光学的に最大可能な広いFOV(実視野)を実現しました。 iMAG® はプローバー・コントロール用ソフトウェアMPI SENTIO® と連動しており、自動化された機能(フォーカス、ウェハー・アライメント、インデックス認識機能、ウェハーマップ作成、ラテラル・ダイ補正、Z方向のオンザフライ補正)に加え、自動露出ポイント・アンド・シュート機能、フリック、パン撮り、デジタルズームなどさまざまなタッチ機能がご使用いただけます。

単眼鏡筒 顕微鏡

MPIのSuperZoom™ SZ10、MegaZoom™ MZ12 単眼鏡筒 顕微鏡をご使用いただくことにより高倍率でかつ、長い作動距離が実現します。設置スペースが小さいことにより、RF、ミリ波、ロードプルといったアプリケーションの際に、計測器のテストヘッド、チューナーなどを搭載する必要がある場合、大きなメリットとなります。

自動化されたMegaZoom™ AMZ12単眼鏡筒顕微鏡はMPIのオートプローバー、フルオートプローバーには最適な一台で、SENTIO®プローバー用コントローラーソフトウェアと連動し、ズーム機能も自動化が可能です。

三眼鏡筒顕微鏡

MPI独自のEyeZoom™ EZ10顕微鏡は人間工学に基づき設計された三眼 実体顕微鏡となり、10倍の光学ズームにより2μmレベルまでの高分解能な上、90mmの作動距離があるため、ストレスなくRFプローブやケーブルの交換を行うことができます。オプションのリングライト照明の追加により、材質の違う評価物や校正基板、ウェハーパッドの視認性がさらに向上し、RF、ミリ波、ロードプル測定において最適な一台となります。

高倍率顕微鏡

MPIのプローバーは、故障解析、インターナル・ノードのプロービングに必要とされる高倍率顕微鏡にも対応しております。Motic製 PSM-1000、ミツトヨ製 FS70などの顕微鏡も搭載可能です。

専用CCDカメラ

MPIは多くの用途にご使用いただける1080カメラの発売を開始しました。Bluetoothとマウスにより操作可能で、パソコンが不要になりました。

8MB SDカードを付属しており、本体に直接抜き差しできるようになっており、パソコンいらずなため、マニュアル・プローバーに最適な一台となります。

すべての顕微鏡はXNUMXp HDMI接続が可能なビデオポートを搭載しており、顕微鏡でとらえられたイメージは追加機器等の必要はなく、そのままモニターに投影することが可能です。

  • イメージは5.0MPカメラに搭載されているmini SDカードにそのまま保存が可能です。
  • カメラはリモート・コントロールでも制御可能です。

※ 必要なケーブルはすべて含まれております。

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