MPI SENTIO® プローバー制御用ソフトウェア
MPI SENTIO® プローバー制御用ソフトウェア
MPIは簡単で直感的なエンジニアリング・ソフトウェアのパイオニアです。これによりトレーニング時間が大幅に削減され、オペレータによる操作性は非常に簡単になります。
ユニークで革新的なマルチタッチ型SENTIO® ソフトウエアが答えです。
特長と利点
DashBoard™
SENTIO® ソフトウェアのメイン画面はDashBoard™に始まります。チャック、補助チャック、顕微鏡、ウェハー・ローダー等プローブの各モジュールの状態が一目でわかるようになっており、各モジュールをクリックすることにより各モジュールを選択することができ、直感的に次のステップが分かる構成となっております。
RF測定の校正については別のソフトウェアを立ち上げる必要がなく、MPIの校正用ソフトウェアQalibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。
Live Vision / Wafer Map
スクロール、ズーム、ムーブといったコマンドはスマホの操作性に類似しており、短時間でソフトウェアの操作を習得することが可能です。自動露出、ドラッグ＆ドロップ、PAN機能により非常に早く、簡単に楽しく操作できます。
簡単で正確な次のダイへの移動やサブ・ダイの自動ウエハ・アライメントはウエハー・マップ・ナビゲーションで実行されます。またウエハーマップの作製は付属されている基本ソフトウエアで実施できます。
セーフティーコンセプト
簡単で直感的のみならず、SENTIO®は誤操作についても万全を期しております。
ソフトウェア初心者でも、操作をウィザードおよびドロップダウンより選択することにより誤操作、DUTを誤って破壊することを防ぐことができます。
測定中(もちろん低温測定中も)のチャンバー・ドアの開閉はできないようになっており、真空の解除もチャンバー・ドアが開いているときにしか解除できないようになっております。セーフティ・モード設定時にのみ手動で温度の設定を変えることができ、顕微鏡照明や移動もXNUMX度の確認作業ののち可能となります。MPI独自の安全に測定するためのさまざまなコンセプトが盛り込まれております。
