300mmプローブステーション| プローバー | マニュアルプローブステーション| 300 mmウェーハプロービング| 手動プローバシステム| マニュアルプローブステーション| 手動プローブステーション

MPI TS300-SE マニュアル・プローバー

MPI TS300-SE マニュアル・プローバー

300mmプローブシステム| 300mmウェーハプロービング| 300mmウェーハプローブ| ウェーハプローバ| 300mmウエハープローバー

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)は優れたEMI・RFIシールド、遮光環境を実現するために設計されており、300mmウェハーサイズまで、-60〜300℃の温度範囲にての超低ノイズ、低リーク測定環境を実現します。

防振テーブルを付属しており、操作しやすい高さに設計されております。

特長と利点

環境室| EMI / RFI /遮光シールド| 超低ノイズ| 低リーク計測| 300mmウェハプローブ

クリックすると拡大します

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

マニュアルプローブステーション|

クリックすると拡大します

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF4ポートまたはDC/ケルビンポートを8ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

クリックすると拡大します

エア・ベアリング ステージ

TS300-SEは、MPI独自のエア・ベアリング・ステージ設計により片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することにより微調整をすることを可能にしました。下記Zチャック軸調整機能もご参照ください。

プローブシステム| プローブステーション| 手動プローバー| 200 mmプローブステーション| 200 mmプロービングシステム| 手動プローブシステム

クリックすると拡大します

独自のプラテンリフト機構
Probe Hover Control™

再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、 プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。本機能はTS200-SEに標準で装備されており、あやまってプローブやウェハーを損傷することを防止するとともに、直感的にかつ正確に位置決め/コンタクトを可能にし、再現性の高い測定を実現します。

さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ(50/100/150μm)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

クリックすると拡大します

チャックZ軸調整機構

TS300-SEはエアーベアリングXYステージに加えて、微細で正確なコンタクト/オーバートラベル制御やプローブカードのドロップチップ補正用に、μm分解能の5 mm Zチャック調整機能を搭載しています。

1mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。20mm空気圧リフトによりウエハーの簡単で安全なローディング/アンローディングが可能です。

クリックすると拡大します

チャック・オプション

TS300-SEではお客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

MPIとERS社が共同設計した 新しい300mm温度チャックPRIME™チャックシリーズ技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

PRIME™チャックには温度遷移時間が短い、優れた電気特性、不活性ガス環境、フィールドにてアップグレード可能など選定いただくための多くの利点があります。

常温チャックについては同軸、トライアキシャル、RFチャック(校正基板用セラミック補助チャック2台付)からお選びいただきます。

クリックすると拡大します

温度制御

ウェハーロード用のドアは15°C以下になると自動的にロックされるようになっております。これはMPI独自の機能となっており、TS300-SEは業界一安全性の高いマニュアル・プローバーといえます。

さらに温度チャックの制御はタッチスクリーンにて操作でき、オペレーターの操作しやすいプローバー前面に設置しております。

プローブカード| マイクロポジショナー| ウェーハチャック| ウェーハプローブ| ウェーハプロービング| 失敗分析| 設計検証

クリックすると拡大します

ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックは、ERS社が特許をもつAC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

クリックすると拡大します

顕微鏡オプション

MPI 顕微鏡 顕微鏡のラインアップとして、MPI製 SuperZoom™ SZ10 単眼鏡筒 顕微鏡、42mm WD以上を確保可能な12倍光学ズームのMegaZoom™ MZ12、人間工学的にすぐれた三眼鏡筒顕微鏡、20倍接眼レンズ付10倍光学ズームEyeZoom™ EZ10 顕微鏡をご用意しております。EZ10は90mmの広い作動距離を確保でき、10μmの光学的分解能を持ち合わせております。

アップグレード

TS300-SEはモジューラー設計を採用しており、温度チャック、顕微鏡、ポジショナ等アプリケーションによりアップグレードもしくは構成を変更することが可能なため将来のCOO(Cost of Ownership)に貢献します。

MPIのShielDEnvironment™付MPI TS300-SEマニュアル・プローバーは最高のEMIシールド環境を提供し、 デバイス特性評価、モデリング, RF /マイクロ波, WLR評価, 故障解析, 設計検証、および ハイパワーデバイス対応.

製品メニュー 閉じる