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MPI TS200-SE マニュアル・プローバー

MPI TS200-SE マニュアル・プローバー

TS200-SE

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)は、優れたEMI・RFIシールドおよび遮光環境を実現するために設計されており、-60〜300℃までの超低ノイズ、低リーク測定環境を実現します。

特長と利点

EMI遮蔽環境チャンバー| 超低ノイズ| 低容量測定| 環境室

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ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™は、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。

EMI遮蔽環境チャンバー| 超低ノイズ| 低容量測定| 環境室

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ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™は、 最大RF4ポートまたはDC/ケルビンポートを8ポートまで搭載可能です。

MPI ShielDCap™は簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

150 mmプローブステーション| 200 mmプローブステーション| 300 mmプローブステーション| エアベアリングステージ

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エア・ベアリング ステージ

TS200-SEは他のMPI製マニュアル・プローバー TS150、TS200と同じコンセプトのプラテンリフト機構を持っております。独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。 また25mm×25mmのXY/Θマイクロメータ機構を搭載することにより微調整をすることを可能にしました。 チャックのZ軸調整機構については本ページ下方にてご紹介しております。

MPIユニークプラテンリフト プローブシステム プローブステーション 手動プローバ| 200mmプローブステーション|マウサー ウェハプローブステーション 手動プローブシステム

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Probe Hover Control™付プラテン・ハンドル

再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、 プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。本機能はTS200-SEに標準で装備されており、あやまってプローブやウェハーを損傷することを防止するとともに、直感的にかつ正確に位置決め/コンタクトを可能にし、再現性の高い測定を実現します。

さらに Probe Hover Control™のホーバ高さ(50/100/150μm)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

ユニークなチャックZコントロール| ウェーハチャック| サーマルチャック| 半導体ウエハチャック

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チャックZ軸調整機構

TS200-SEにはエア・ベアリングXYステージに加え5mm高精細Z軸調整機構を持っており、精度の高い正確なコンタクトおよびオーバー・トラベル(スケート)、プローブカードのドロップ・チップ補正を可能にします。

1 mm高精度目盛りにより、現在位置を正確に把握できます。

また20mm空気圧リフトによりウエハーの簡単で安全なローディング/アンロードが可能です。

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チャック・オプション

TS200-SEではお客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

  • 常温チャック: 同軸、トライアキシャル、RFチャック(校正基板用のセラミック補助チャック2台が搭載)。
  • 空冷ERS温度チャック(-60~300℃まで選択が可能)

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温度制御

ウェハーロード用のドアは15°C以下になると自動的にロックされるようになっております。これはMPI独自の機能で、TS200-SEは業界一安全性の高いマニュアル・プローバーといえます。

さらに温度チャックの制御はタッチスクリーンにて操作でき、オペレーターの操作しやすいプローバー前面に設置しております。

プローブカード| マイクロポジショナー| ウェーハチャック| ウェーハプローブ| ウェーハプロービング| 失敗分析| 設計検証

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ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックは、ERS社が特許をもつAC3冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

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顕微鏡オプション

MPI 顕微鏡 顕微鏡のラインアップとして、MPI製 SuperZoom™ SZ10 単眼鏡筒 顕微鏡、42mm WD以上を確保可能な12倍光学ズームのMegaZoom™ MZ12、人間工学的にすぐれた三眼鏡筒顕微鏡、20倍接眼レンズ付10倍光学ズームEyeZoom™ EZ10 顕微鏡をご用意しております。EZ10は90mmの広い作動距離を確保でき、10μmの光学的分解能を持ち合わせております。

アップグレード

TS200-SEはモジューラー設計を採用しており、温度チャック、顕微鏡、ポジショナ等アプリケーションによりアップグレードもしくは構成を変更することが可能なため将来のCOO(Cost of Ownership)に貢献します。

MPIのShielDEnvironment™付MPI TS200-SEマニュアル・プローバーは最高のEMIシールド環境を提供し、 デバイス特性評価、モデリング, RF /マイクロ波, WLR評価, 故障解析, 設計検証、および ハイパワーデバイス対応.

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