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MPI TS150-THZマニュアル・プローバー

MPI TS150-THZマニュアル・プローバー

TS150-THZウェハ・プローブ・システム| ウェーハプロービングシステム| 150mmプローブステーション| 150mmプローバー

5G次世代移動通信システム、人工衛星、非侵襲性分光分析法、セキュリティー監視システム、医療機器、車載用近距離レーダーなど、THzアプリケーションの需要は大きく拡大しております。それにより信頼性と再現性の高い測定データを得ることがこれまで以上に重要となってきております。特にデバイス、IC設計の研究開発の分野において顕著です。

MPIのTS150-THZは世界初めて、150mmオンウェハーでミリ波およびTHz帯の測定を行う専用機として設計され、1.5THzまでの測定を可能にしました。

  • 1.5THz帯までの幅広い周波数帯の計測器の周波数エクステンダとプローバーのシームレスな統合を実現
  • 械的剛性、安定性を持ち合わせ、安全で簡単な操作性
  • 測定経路を最小限にすることで測定指向性を最大限に引き出すことが可能に

特長と利点

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エア・ベアリング ステージ

MPI独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm)をすることを可能にしました。

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Probe Hover Control™付プラテン・ハンドル

測定精度はコンタクト精度に依存します。再現性の高い(1μm)プラテン・ハンドル機構とともに、コンタクト、コンタクト・セパレーション(300μm)、ロード(3mm)の三つの独立したポジショニングが可能となっており、プローブ・被測定対象の破損を防ぐセーフティー・ロック機能も持ち合わせております。

さらにProbe Hover Control™のホーバ高さ(50または100um)機能がついており、パッドにプローブを簡単に便利に当てることが可能になります。

チャックZ軸調整機構

TS150-THzには10mm高精細Z軸調整機構をもつことにより、異なる周波数帯のローデ・シュワルツ社、VDI社、OML社の各種周波数エクステンダを搭載することが可能です。一台のプローバーでさまざまな周波数帯での測定をする際、セットアップを容易に素早くすることができます。

ポジショナー

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ポジショナ・オプション

専用の非常に頑丈なプローブプラテンの設計は、東西構成の2つのボルトダウンMP80大面積マイクロポジショナーに対応しています。 2つの北と南の "ブリッジ"を標準構成とすることで、4ポートのRF測定やDCバイアスを簡単に実現できます。

マイクロポジショナー| RF較正| プローバーステーション| ウェーハプローバ| ウェーハプロービングステーション| 半導体ウエハー・プロービング

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MP80-DX

MP80-DXポジショナは1um(ΔL)の高分解能を持ち、ミリ波・THz帯の校正手法であるマルチ・ラインTRL測定をより確実なものとします。校正については MPI QAlibria®校正用ソフトウェアのページをご参照ください。

チャック・オプション
チャック・オプション

FBHの提供

チャック・オプション

お客様のさまざまな要求仕様およびご予算を満足する チャックオプション をご用意しております。

  • BNCコネクタ付標準RFチャック
  • ミリ波専用チャック(高―熱伝導性(> 180W/Km)セラミックチャックを採用)
  • ERS製RF温度チャック(空冷、20~200℃、小径吸引孔付金メッキトップ・プレート)

※すべてのチャック・オプションには校正基板/クリーニング基板用の補助チャック2台が搭載されております。

各種オプティクスオプション| ウェーハチャック| サーマルチャック| ホットチャック| コールドチャック| 半導体ウエハチャック

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顕微鏡オプション

顕微鏡のラインアップとして、 MPI 顕微鏡 SZ10 単眼鏡筒 顕微鏡、EZ12実体顕微鏡、WD 12mm・45倍光学ズームのMegaZoom MZ12顕微鏡をご用意しております。ミリ波帯、サブテラヘルツ帯域の測定では周波数エクステンダ設置による物理的制限があるため、顕微鏡を含めDUTまでの距離が重要となってまいります。

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